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STACIS主動隔振系統
特點&優(yōu)點
1,、從0.6Hz開始隔離振動，1Hz時可隔振40%到70%
2,、2Hz時在高度、水平和垂直三個方向上提供超過90%的振動隔離
3,、減少工廠地板鋪設成本，使設備能夠安裝在較強振動環(huán)境中
4,、主動帶寬：0.6Hz到150Hz
5,、設備制造商竭力推薦
6、六自由度活動硬性底座設計,，無氣浮支撐
7,、魯棒控制系統，不需要預先調適
8,、可與設備內置隔振系統兼容
9,、當環(huán)境振動水平隨時間增加時，確保設備滿足自身的振動標準
10,、利用TMC Stacis®技術通過壓電陶瓷致動器來消除振動
11,、帶有基于計算機的圖形用戶界面(GUI)的數字控制器
12、在舊的,、有噪音的地板上也可以安裝使用
13,、兼容各種地板的高度和類型
14,、TMC關注Stacis III隔振性能,，提供全面的售后服務
15,、通過ROHS認證
STACIS®III是先進的主動振動隔離系統,。采用先進的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和先進的壓電致動器,，STACIS通過連續(xù)測量地板活動,，擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時振動隔離。
*初被設計用于先進半導體工廠的精密顯微光刻,、計量和檢測設備振動隔離,， STACIS現在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案，它廣泛應用于半導體晶圓廠,、失效分析實驗室,、納米技術研究、納米加工設備和材料研究,。
Stacis III包括一個新型改進的數字控制器—DC-2020,。它搭載新的高效的雙核處理器，前后面板上都配備以太網和USB串口,，新型先進控制系統為用戶提供了一個現代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI),。
Stacis III在世界各地有數百個成功安裝案例,，對于大部分振動敏感儀器來說都是*理想的振動消除系統。
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