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反射物鏡可調節(jié),,適用于精密校準
可選多種鍍膜,適用于特定波長范圍
采用有限共軛設計和RMS螺紋,,可輕松集成在多種物鏡設置中
我們的TECHSPEC® 可調ReflX™ 物鏡,前身為Beck/Ealing反射物鏡,,擁有堅固的設計和多樣的放大倍率,,適用于各種應用。所有反射物鏡都具有160mm的鏡筒長度和0.17mm的保護玻璃,,在組裝和精密對準時可提供良好的性能,。為了延長物鏡的使用壽命,除了15X,,0.5NA物鏡,,其他物鏡都可通過通用扳手調整內部反射鏡的中心定位(附帶詳細說明)。通過移動調整環(huán),,74X物鏡可實現鏡筒長度和保護玻璃的校正(如果鏡筒長度改變,,應重新檢查和調整反射鏡的中心定位)。
每個物鏡都有3種鍍膜可選:鍍鋁外加氟化鎂鍍膜適用于近紫外(NUV)-可見光波段,,深紫外(DUV)加硬鍍鋁適用于深紫外(DUV)-近紫外(NUV)波段,,鍍金膜適用于紅外(IR)波段。這款標準的顯微鏡物鏡可使您免受色差和材料吸收問題的困擾,,這款組件非常適用于需要高吞吐量和優(yōu)異分辨率的應用,,如紅外光譜儀和顯微鏡,光刻,,薄膜測量,,半導體檢查和激光蝕刻等應用。
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