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HXP高精度位移臺
特征：
每個 Newport 六足位移臺型號的聯(lián)接系統(tǒng)都是獨(dú)yi無二的,，這樣可以提高載重下的位置穩(wěn)定性,。Newport 六足位移臺采用球形接頭或萬向接頭設(shè)計，與相似尺寸的其他六足位移臺相比,，擁有五倍以上的剛度和兩倍以上的載重能力。
六足位移臺的頂板由六個同步的高性能促動器驅(qū)動,，編碼器安裝在絲杠螺母上,，用以實現(xiàn)精確 MIM、低側(cè)隙與高速特性,。
應(yīng)用:
光學(xué)器件和衛(wèi)星裝配與測試
AED 模擬
天文
生物技術(shù)和外科手術(shù)
X 射線衍射
微加工和顯微操縱
| 型號 | HXP50HA-MECA | HXP100HA-MECA | HXP100PHA-MECA |
|---|---|---|---|
| 尺寸 | ?200 x 151 mm | ?300 x 209 mm | ?300 x 209 mm |
| 行程范圍 X、Y,、Z 1 | ±17,， ±15， ±7 mm | ±27.5,， ±25， ±14 mm | ±27.5,， ±25,， ±14 mm |
| 行程范圍 ΘX、ΘY,、ΘZ | ±9， ±8.5,， ±18 ° | ±11.5,， ±10.5， ±19 ° | ±11.5,， ±10.5， ±19 ° |
| *小位移增量 X,、Y,、Z 2 | 0.10,， 0.10， 0.05 μm | 0.50,， 0.50,， 0.25 μm | 0.10,， 0.10， 0.05 μm |
| *小位移增量 ΘX,、ΘY,、ΘZ | 0.05， 0.05,， 0.10 mdeg | 0.25， 0.25,， 0.5 mdeg | 0.05,， 0.05， 0.10 mdeg |
| 單向重復(fù)精度 X,、Y、Z - 典型值 | ±0.10,， ±0.10,， ±0.05 μm | ±0.14， ±0.13,， ±0.05μm | ±0.10,， ±0.10,， ±0.05 μm |
| 單向重復(fù)精度 X,、Y,、Z - 保證值 | ±0.15， ±0.15,， ±0.075 μm | ±0.25,， ±0.25,， ±0.125 μm | ±0.15， ±0.15,， ±0.075 μm |
| 單向重復(fù)精度 ΘX,， ΘY， ΘZ - 典型值 | ±0.05,， ±0.05,， ±0.10 mdeg | ±0.125， ±0.125， ±0.25 mdeg | ±0.05,， ±0.05,， ±0.10 mdeg |
| *da速度 X、Y,、Z | 14， 12,， 5 mm/s | 2.5,， 2， 1 mm/s | 12,， 10， 5 mm/s |
| *da速度（ΘX,、ΘY,、ΘZ） | 6， 6,， 15 °/s | 1.8,， 1.7,， 3 °/s | 8， 8,， 16 °/s |
| 剛度（X,、Y、Z） 3 | 2,， 2， 25 N/μm | 5,， 5,， 40 N/μm | 3， 3,， 24 N/μm |
| 俯仰 X、Y,、Z,，保證值 | ±50， ±50,， ±25 μrad | ±75,， ±75， ±75 μrad | ±37.5,， ±37.5,， ±37.5 μrad |
| 偏擺 X、Y,、Z,，保證值 | ±50,， ±50,， ±25 μrad | ±75,， ±75， ±75 μrad | ±37,， ±37,， ±37 μrad |
| 中心負(fù)載 4 | 50 N | 200 N | 60 N |
| 電纜長度 | 3 m | 3 m | 3 m |
| 重量 | 2.2 kg | 7.2 kg | 7.2 kg |
| jue對精度 XYZ，保證值 | ±5.0,， ±5.0,， ±2.5 μm | ±10， ±10,， ±5μm | ±5.0， ±5.0,， ±2.5μm |
暫無數(shù)據(jù),！
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