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進口品牌渦輪分子泵和無油隔膜泵的**配合產生一個潔凈的<3*10-6 Torr的真空壓強,。特別適用于TEM 樣品桿的真空存儲、檢漏和樣品等離子體清洗用途,。采用遠程射頻離子源清洗,，高效,、低等離子體轟擊損傷。標配兩路清洗氣體流量控制器,，觸摸屏控制,，即插即用。
SPC真空等離子清洗系統能夠很好的活化TEM透射電鏡用微柵碳支持膜,，使之在短時間內（<10h）由疏水性變?yōu)橛H水性,。
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