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【SuPro】離子濺射儀/噴金儀ISC150
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進(jìn)口品牌高性能旋片泵產(chǎn)生一個(gè)潔凈的<1 pa的真空壓強(qiáng),,通常抽真空時(shí)間小于3-5分鐘。采用高品質(zhì)恒功率磁控濺射電源,,確保恒定沉積速率,。磁控陰極的使用也有效減少等離子體對(duì)樣品的熱影響和離子轟擊損傷,。特別適用于追求更高分辨率sem 掃描電鏡樣品的噴金用途。觸摸屏控制,,即插即用,。

選配原位離子清洗模塊,實(shí)現(xiàn)SEM樣品碳?xì)湮廴荆ㄓ袡C(jī)物積碳污染)清洗,,樣品表面活化和親水化,。

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