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Gas loop-V靶電壓氣體閉環(huán)控制器是一種單通道靶電壓信號輸入，可控制多通道輸出氣體閉環(huán)控制系統(tǒng),，根據(jù)等離子體狀態(tài),，快速調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體流量。
工作模式有三種：滯回曲線模式,、閉環(huán)反饋控制模式,、恒定氣體流量模式?？刂栖浖僮鞑捎秒娔X,，Windows視窗界面控制，網(wǎng)絡(luò)通訊接口,，可以實現(xiàn)遠(yuǎn)程診斷功能,。
適用于反應(yīng)濺射中，穩(wěn)定工作點(diǎn)或?qū)崿F(xiàn)高沉積速率,；對多層膜或分段沉積,，通過界面控制就可以完成。搭配快速氣體流量計控制器MFC,，簡單易用的軟件界面，具有高性價比和高可靠性等特點(diǎn),。
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