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壓電平臺XY200M沿X,，Y和Z軸的行程為200 μm，**可以承受3kg的負(fù)載,。應(yīng)用領(lǐng)域包括共焦微鏡,，掩膜定位和檢測。這種平臺基于APA200M設(shè)計(jì),，具有很高的硬度,。平臺可以配備精度高達(dá)10nm的應(yīng)變計(jì)或渦流傳感器。平臺沿X,，Y和Z軸的轉(zhuǎn)動非常小,。移動外框可根據(jù)要求定制,。
這種結(jié)構(gòu)要求驅(qū)動器的前兩個通道為推拉式。
參數(shù) | 單位 | XYZ200M |
型號 | V-XYZM200 | |
備注 | - | |
傳感器 | SG,，ECS | |
主動軸 | TX,，TY，TZ | |
**空載位移[Tx,，Ty] | um | 180 |
Z方向**面外位移 | um | 200 |
Z方向的**轉(zhuǎn)動 | urad | 240 |
XY方向的**轉(zhuǎn)動 | urad | 50 |
電壓范圍 | V | -20…150 |
硬度 | N/um | 0.66 |
高度(Z 軸) | mm | 44.0 |
尺寸(X&Y 軸) | mm | 100*100 |
分辨率 | nm | 1.8 |
質(zhì)量 | g | 540 |
空載共振頻率(在致動方向) | Hz | 380 |
響應(yīng)時間 | ms | 1.32 |
電容(每個電氣接口) | uF | 6.30 |
機(jī)械接口(有效負(fù)載) | 物鏡接口**4/55 *1.36(指定) | |
機(jī)械接口(框架) | 4 Ф4.5mm 孔 []84 | |
電氣接口 | 3 RG178B/U 同軸電纜 |
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