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特色
緊湊型設(shè)計,,分辨率為4 nm*1
通過高靈敏度二次電子探測器,,背散射探測器,,低真空探測器(UVD*2),實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
操作簡捷,,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」,,便于快速鎖定視野
大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2
*1
設(shè)置在桌面時,,分離主機(jī)和電源箱
*2
選配
規(guī)格
項目 | 內(nèi)容 | |
---|---|---|
分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式) 15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式) 5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式) | |
加速電壓 | 0.3 kV ~ 20 kV | |
放大倍率 | 6× ~ 300,,000× (底片倍率) 16× ~ 800,000× (顯示倍率) | |
低真空模式 | 真空范圍:6 ~ 100 Pa | |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
樣品臺 | 3-軸自動馬達(dá)臺 X:0 ~ 40 mm,, Y:0 ~ 50 mm,, Z:5 ~ 15 mm R:360°, T:-15° ~ +90° | |
**樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
**樣品高度 | 40 mm | |
尺寸 | 主機(jī):450(W) x 640(D) x 670(H) mm 供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm | |
探測器選配 |
|
*3
主機(jī)與供電單元組合使用
*
PC,、桌子,、機(jī)械泵、顯示器需要本地采購
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