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金相顯微鏡VMM 5000
金相顯微鏡VMM 5000

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江蘇

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蘇州費馬科儀自動化技術(shù)有限公司

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研究級正置金相顯微鏡VMM5000

VMM 5000 是一款研究級正置金相顯微鏡,采用全新設(shè)計的無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)和無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差專業(yè)金相物鏡,,全面涵蓋反射明場,、反射暗場、透射明場,、透反射偏光,、反射微分干涉等多種觀察方式,滿足多種研究需求,,可廣泛應(yīng)用于鑄造,、冶煉、熱處理,、失效分析,、線路板和半導(dǎo)體的研究, 原材料檢驗或材料分析等多種檢測,,為客戶提供完善的工業(yè)檢測解決方案,。

多檔分光比觀察頭設(shè)計

全新 VMM5000 系列觀察筒,采用寬光束成像系統(tǒng)設(shè)計,,支持 26.5mm 世界先進的超寬視野觀察,,帶給您全新的大視野體驗。兩檔式正像鉸鏈三目觀察筒,,保證樣品的移動方向與您通過目鏡觀察到的方向一致,,使操作更加得心應(yīng)手,。

三檔式鉸鏈三目觀察筒,在成像光線全部用于雙目觀察或三目攝影的基礎(chǔ)上,, 增加一檔 20% 用于雙目觀察,,80% 用于顯微攝影,方便用戶同時對鏡下圖像與視頻圖像進行對比觀察,;

偏振系統(tǒng)

偏振系統(tǒng)包括起偏器和檢偏器,,可做偏光檢測,在半導(dǎo)體和 PCB 檢測中,,可消除雜光,細(xì)節(jié)更清楚,。檢偏器分為固定式檢偏器和 360 度旋轉(zhuǎn)式檢偏器,。360° 旋轉(zhuǎn)式檢偏器可在不移動標(biāo)本的情況下,方便的觀察標(biāo)本在不同偏振角度光線下呈現(xiàn)的狀態(tài),??稍谄裣到y(tǒng)的基礎(chǔ)上加載全新研發(fā)微分干涉器,建立諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng),。

諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)

全新研發(fā)的 U-DICR 微分干涉組件,,可以將明場觀察下無法檢測的細(xì)微高低差, 轉(zhuǎn)化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來,,如 LCD 導(dǎo)電粒子,,精密磁盤表面劃痕等

中性密度濾色鏡連動明暗場觀察設(shè)計

照明器前端的撥桿可使明暗場觀察切換更加方便,并帶有中性密度濾色鏡(ND50)聯(lián)動功能,。由于暗場觀察時通常需要將光源開得比明場觀察更亮,,此功能設(shè)計可以避免用戶在由暗場切換至明場時,眼睛不會受到強光的刺激,,提高使用的舒適性,。

透反射照明裝置,光源兼容

12V100W 超長壽命燈箱,,采用 PHILIPS 7724 型鹵素?zé)?,為系統(tǒng)提供充足、均勻的照明環(huán)境,。搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)系統(tǒng),,優(yōu)化柯拉照明低倍表現(xiàn),有效校正色差球差,, 得到理想的圖像

專業(yè)無限遠(yuǎn)長工作距半復(fù)消色差金相物鏡

●明暗場物鏡只需一個鏡頭就能勝任明場,、暗場、偏光,、微分干涉觀察,。暗場圖像亮度得到增強,,提高了樣品的檢出能力。

●本系列物鏡嚴(yán)格挑選高透過率的鏡片和先進的鍍膜技術(shù),,真實還原樣品的自然色彩 ,;

●明暗場物鏡采用鋁制外套,大大減輕了重量,,對防止環(huán)境污染,,改善物鏡轉(zhuǎn)換的操控性做出了貢獻 ;

●半復(fù)消色差設(shè)計具有**的色差校正性能,,提高了觀察圖像的襯度,、清晰度。

●長工作距物鏡廣泛適用于各種檢測領(lǐng)域,,輕松實現(xiàn)無損檢測,。

●專用明場半復(fù)消色差物鏡可供選擇

人機工程學(xué)設(shè)計,觸手可及的操作

●鏡座底側(cè)低手位調(diào)光裝置,,可靈活調(diào)節(jié)光線強弱,,并在數(shù)字調(diào)光屏上顯示相應(yīng)電壓??膳浜献笫治淮治⒄{(diào)焦,,提高工作效率。

●數(shù)字調(diào)光屏上的開關(guān)可一鍵切換透反射照明,,復(fù)位按鈕將光強設(shè)置在使用 LBD 濾色鏡進行顯微攝影時的電壓,,約 8V,有相機標(biāo)志位置,。

●鏡座上裝有 3 個濾色鏡,,另外還可以選裝第四個,拉桿設(shè)計可以很容易的將濾色鏡移入/移出光路,。

●左右低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu),,帶松緊調(diào)節(jié)裝置。粗調(diào)行程 25mm,,微調(diào)精度 1um,, 可用于測量 Z 軸方向極細(xì)微物體的高度,如錫球,。

滿足多種觀察方式

全面涵蓋明場,、暗場、偏光,、微分干涉等多種觀察方式,,適應(yīng)多種研究需求。

●高襯度暗場觀察。充分利用物鏡的孔徑角,,能夠清晰的觀察到金相組織的雜質(zhì)及細(xì)微缺陷

PCB 切片暗場

●簡易偏光觀察,。采用 360°旋轉(zhuǎn)式檢偏器可在不移動標(biāo)本的情況下,方便地觀察標(biāo)本在不同偏振角度光線下呈現(xiàn)的狀態(tài)

金相組織簡易偏光

●DIC 微分干涉觀察,。IMM5000 配置的微分干涉組件,,可以將明場中無法檢測到的高度差異,以浮雕的形勢表現(xiàn)出來,,適用于檢測高度差異及其微小的樣品,, 包括金相組織、礦物和晶元表面等

半導(dǎo)體微分干涉

技術(shù)參數(shù)表

VMM5000 研究級正置金相顯微鏡技術(shù)規(guī)格表

配置

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀察筒

30°傾斜,,正像,,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,,兩檔分光比雙

目:三目=100:0 或 0:100

30°傾斜,,倒像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,,三檔分光比雙

目:三目=100:0 或 20:80 或 0:100

目鏡

高眼點大視野平場目鏡 PL10X25mm,,視度可調(diào)

高眼點大視野平場目鏡 PL10X25mm,,帶單刻度十字分劃板,視度可調(diào)

高眼點大視野平場目鏡 PL10X26.5mm,,視度可調(diào)

高眼點大視野平場目鏡 PL10X26.5mm,,帶單刻度十字分劃板,視度可調(diào)

物鏡

無限遠(yuǎn)長工作距平場明暗場半復(fù)消色差專業(yè)金相物鏡

倍率

數(shù)值孔徑(N.A.)

工作距離(W.D.)

蓋玻片厚度

共軛距(mm)

5X

0.15

13.5mm

-

10X

0.30

9.0mm

-

20X

0.50

2.5mm

0

50X

0.80

1.0mm

0

100X

0.90

1.0mm

0

物鏡

無限遠(yuǎn)長工作距平場明場半復(fù)消色差專業(yè)金相物鏡

倍率

數(shù)值孔徑(N.A.)

工作距離(W.D.)

蓋玻片厚度

共軛距(mm)

5X

0.15

19.5mm

-

10X

0.30

10.9mm

-

20X

0.50

3.2mm

0

50X

0.80

1.2mm

0

100X

0.90

1.0mm

0

物鏡轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位 5 孔明暗場轉(zhuǎn)換器,,帶 DIC 插槽

機架

透反兩用機架,, 低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程 25mm,,微調(diào)精度 0.001mm,。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng),,雙路電源輸出,,采用數(shù)字調(diào)光,具有光強設(shè)定與復(fù)位功能,、反射/透射光切換開關(guān),,內(nèi)置透

射光濾色鏡(LBD、ND6,、ND25)

載物臺

右手位 4 英寸機械平臺,,行程 105mmx102mm,帶Y 軸鎖定機構(gòu),可帶透射系統(tǒng)擋光

板,,帶玻璃載物臺板

照明系統(tǒng)

明暗場反射照明器,,帶可變孔徑光闌,視場光闌,,中心可調(diào),;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽,,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽,;12V100W 鹵素?zé)羰遥?、反射通?/span>

預(yù)定中心

聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9)

微分干涉

DIC 微分干涉組件

濾色片

藍(lán)色濾色片

綠色濾色片

黃色濾色片

偏光附件

起偏鏡插板,,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板

電源

自適應(yīng)寬電壓 90-240V

攝影攝像

三目同步光學(xué)光學(xué)輸出,,0.35X,、0.5X、0.65X,、1X(任選其一),,C 型接口,可調(diào)

焦,,500/630 萬像素 CMOS 相機,,USB2.0 接口,直連電腦采集圖像,,免采集卡

●標(biāo)配 ○選配

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