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反射膜厚儀MProbe UVVisSR
反射膜厚儀MProbe UVVisSR

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德國

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鉑悅儀器(上海)有限公司

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產(chǎn)品概述

MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,,氮化物,,光刻膠,高分子聚合物,,半導(dǎo)體(硅,,單晶硅,多晶硅),,半導(dǎo)體化合物(AlGaAs,, InGaAs,,CdTe, CIGS),,硬涂層(碳化硅,,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,,聚甲基丙烯酸甲酯,,聚酰胺)

該機(jī)大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,,氮化物,,光刻膠,高分子聚合物,,半導(dǎo)體(硅,,單晶硅,多晶硅),,半導(dǎo)體化合物(AlGaAs,, InGaAs,CdTe,, CIGS),,硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),,聚合物涂層(聚對二甲苯,,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

測量范圍: 1 nm -50um

波長范圍: 200 nm -1000 nm

MProbe UVVisSR薄膜測厚儀適用于實(shí)時在線測量,,多層測量,非均勻涂層,, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),,新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy,, Tauc-Lorentz,, Cody-Lorentz, EMA等,。

測量指標(biāo):薄膜厚度,,光學(xué)常數(shù)

界面友好強(qiáng)大: 一鍵式測量和分析。

實(shí)用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,,背景和變形校正,,連接層和材料,多樣品測量,,動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理,。

(MProble NIR薄膜測厚儀系統(tǒng)示 )

案例1,,73nm SiN氮化硅薄膜的測量

硅晶圓反射率,測量時間10ms

使用Tauc-Lorentz模型,,測量SiN薄膜的n和k值

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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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