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反射膜厚儀MProbe UVVisSR
反射膜厚儀MProbe UVVisSR

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產(chǎn)品概述

MProbe UVVisSR薄膜測(cè)厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量,。比如:氧化物,,氮化物,光刻膠,,高分子聚合物,,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,,多晶硅),,半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,,CdTe,, CIGS),硬涂層(碳化硅,,類金剛石炭),,聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,,聚酰胺)

該機(jī)大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量,。比如:氧化物,氮化物,,光刻膠,,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,,單晶硅,,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs,, InGaAs,,CdTe, CIGS),,硬涂層(碳化硅,,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,,聚甲基丙烯酸甲酯,,聚酰胺)

測(cè)量范圍: 1 nm -50um

波長(zhǎng)范圍: 200 nm -1000 nm

MProbe UVVisSR薄膜測(cè)厚儀適用于實(shí)時(shí)在線測(cè)量,多層測(cè)量,,非均勻涂層,, 軟件包含大量材料庫(kù)(超過(guò)500材料),新材料可以很容易的添加,,支持多重算法:Cauchy,, Tauc-Lorentz,, Cody-Lorentz, EMA等,。

測(cè)量指標(biāo):薄膜厚度,,光學(xué)常數(shù)

界面友好強(qiáng)大: 一鍵式測(cè)量和分析。

實(shí)用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,,背景和變形校正,,連接層和材料,多樣品測(cè)量,,動(dòng)態(tài)測(cè)量和產(chǎn)線批量處理,。

(MProble NIR薄膜測(cè)厚儀系統(tǒng)示 )

案例1,73nm SiN氮化硅薄膜的測(cè)量

硅晶圓反射率,,測(cè)量時(shí)間10ms

使用Tauc-Lorentz模型,,測(cè)量SiN薄膜的n和k值

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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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公司動(dòng)態(tài)
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