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M4 TORNADOPLUS - 微區(qū)X射線(xiàn)熒光成像的新紀(jì)元

M4 TORNADOPLUS能夠檢測(cè)出C（6）-Am（95）間元素的微區(qū)X射線(xiàn)熒光成像光譜儀,。

作為微區(qū)X射線(xiàn)熒光成像光譜儀M4TORNADO系列的新產(chǎn)品，M4 TORNADOPLUS又增添了功能,，例如創(chuàng)新性的孔徑管理系統(tǒng),，高通量脈沖處理器以及快速靈活更換的樣品臺(tái)。

更輕,、更快,、更深

M4 TORNADOPLUS采用超輕元素窗口的大面積硅漂移探測(cè)器（SDD）實(shí)現(xiàn)對(duì)輕元素碳的檢測(cè)，高通量脈沖可以大程度提升采樣速度,，BRUKER孔徑管理系統(tǒng)（AMS）可以獲取大景深,，對(duì)表面不平整樣品分析具有優(yōu)勢(shì)。

超輕元素檢測(cè)

M4 TORNADOPLUS能夠檢測(cè)分析輕質(zhì)元素碳的微區(qū)X射線(xiàn)熒光成像光譜儀,，具備兩個(gè)具有超輕元素窗口的大面積硅漂移探測(cè)器和一個(gè)優(yōu)化的Rh靶X射線(xiàn)光管,。

與普通微區(qū)X射線(xiàn)熒光成像光譜儀不同，M4 TORNADOPLUS在不影響較高能量范圍內(nèi)元素靈敏度的前提下,，還可以檢測(cè)原子數(shù)小于11的元素（Z＜11）,，例如氟（F）、氧（O）,、氮（N）和碳（C）,。

隨著功能性的增強(qiáng)，M4 TORNADOPLUS應(yīng)用也正在開(kāi)發(fā)和拓展中,，例如地質(zhì)學(xué),、礦物學(xué)、生物學(xué),、聚合物研究或半導(dǎo)體行業(yè)等方向,。

應(yīng)用實(shí)例-螢石和方解石的區(qū)分

螢石（CaF2）和方解石（CaCO3）都是以鈣為主要成分的礦物,。它們的區(qū)別在于分別存在輕質(zhì)元素氟（F），氧（O）,，碳（C）,；由于普通微區(qū)X射線(xiàn)熒光成像光譜儀檢測(cè)不到Z＜11(Na）的元素，無(wú)法區(qū)分這兩種礦物,，所以螢石和方解石的光譜圖上都只會(huì)顯示Ca元素譜線(xiàn),。

利用超輕元素探測(cè)器，M4 TORNADOPLUS可以檢測(cè)氟（F）,、氧(O)和碳(C),，從而鑒別這兩種礦物。

圖：鑒別螢石與方解石

左：方解石（紅）和螢石（藍(lán)）的元素分布圖,；圖像尺寸：20×12mm2,；掃描分辨率：800×460pixels

右：螢石（藍(lán)）和方解石（紅）的輕質(zhì)元素光譜圖。

應(yīng)用實(shí)例-電路板

由于A(yíng)MS的場(chǎng)深度深,，如圖所示電路板的X射線(xiàn)圖像獲得更多的細(xì)節(jié),。此外，由于激發(fā)X射線(xiàn)光子的入口和出口角度減小,，光束能量依賴(lài)性變得不那么明顯,。

圖：具備AMS與不具備AMS的電路板元素分布圖

左圖: 標(biāo)準(zhǔn)多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦在電路板上，元件的高點(diǎn)失焦,，顯得模糊,。

右圖: AMS系統(tǒng)加載下圖像顯示高景深，組件聚焦在更大的景深范圍內(nèi),。