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產(chǎn)品概述
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。比如:氧化物,,氮化物,光刻膠,,高分子聚合物,,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,,多晶硅),,半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,,CdTe, CIGS),,硬涂層(碳化硅,,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,,聚甲基丙烯酸甲酯,,聚酰胺)
該機(jī)大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。比如:氧化物,,氮化物,,光刻膠,高分子聚合物,,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,,多晶硅),,半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,,CdTe, CIGS),,硬涂層(碳化硅,,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
測(cè)量范圍: 1 nm -20um(UVVis),,1nm-150um(UVVisNIR)
波長(zhǎng)范圍: 200 nm -1000 nm(UVVis)
200nm-1700nm(UVVisNIR)
適用于實(shí)時(shí)在線測(cè)量,,多層測(cè)量,非均勻涂層,, 軟件包含大量材料庫(kù)(超過(guò)500材料),新材料可以很容易的添加,,支持多重算法:Cauchy,, Tauc-Lorentz,, Cody-Lorentz, EMA等,;
藍(lán)寶石基底上1025nm厚度的氧化物薄膜的反射率和透射率,,波長(zhǎng)范圍(200-1700nm):
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