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產(chǎn)品概述
MProbe MSP顯微薄膜測厚儀適用于實時在線測量,，多層測量,，非均勻涂層， 軟件包含大量材料庫(超過500材料),，新材料可以很容易的添加,，支持多重算法：Cauchy， Tauc-Lorentz,， Cody-Lorentz,， EMA等。
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量,。比如：氧化物,，氮化物，光刻膠,，高分子聚合物,，半導體(硅，單晶硅，多晶硅),，半導體化合物(AlGaAs,， InGaAs，CdTe,， CIGS),，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭),，聚合物涂層(聚對二甲苯,，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺),。
測量范圍: 1 nm -800um
波長范圍: 200 nm -1700 nm
光斑直徑：200um-4um
適用于實時在線測量,，多層測量，非均勻涂層,， 軟件包含大量材料庫(超過500材料),，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy,， Tauc-Lorentz,， Cody-Lorentz， EMA等,。
測量指標：薄膜厚度,，光學常數(shù)
界面友好強大: 一鍵式測量和分析。
實用的工具：曲線擬合和靈敏度分析,，背景和變形校正，連接層和材料,，多樣品測量,，動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理。
測量100nm二氧化硅薄膜,，40um光斑直徑,，波長范圍：200-1000nm：
暫無數(shù)據(jù)！
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