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產(chǎn)品介紹：

• 反應(yīng)艙：

  材料：鋁

  有效尺寸：400 x 400 x 400mm

  容積：64升

  艙門：裝有可視窗口

  托盤：4個。尺寸：305 x 360 x 40mm

• 真空度測量：

  皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)）

• 真空泵：

  旋片式真空泵,；30m³ 每小時,；含真空泵油。

• 頻射發(fā)生器：

  0~600w可調(diào),，100KHZ發(fā)生器

• 控制系統(tǒng)：

  觸摸屏操作,，PLC控制系統(tǒng)

  PLC可實現(xiàn)下列功能：

  1、自動控制反應(yīng)過程,；

   2,、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程；

   3,、測定真空泵壓力,、抽真空時間、充氣速度,、工作壓力,、處理時間、溫度,、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標,；

   4、監(jiān)測所有的運行指標,，保證在設(shè)定范圍之內(nèi),；

   5、 設(shè)定操作,、維護密碼,。

• 電源：

  380V AC、三相,、50Hz,、40A.

• 反應(yīng)氣體：

  一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）,；根據(jù)用戶需要,，可擴展

• 氣體輸入：

  直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar.

• 尾氣排放：

  直徑28mm 輸出端口,。

• 安全性能：

  急停開關(guān),；真空泵保護鎖；高溫保護鎖,；CE安全認證,。

可選件：

• 300 m³/小時 的機械增壓泵

• 頻射發(fā)生器：2.45GHZ， 13.56MHZ

• 多個氣體輸入管道,。

• 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序

• 根據(jù)客戶要求制作的托盤,。

• 輥輪式載料系統(tǒng)。

• N₂ Purge.

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