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Femto Science 等離子清洗機 表面處理設(shè)備 CUTE
圖片
簡介
CUTE系列等離子清洗機來自韓國FemtoScience公司，是一款無損傷的等離子體處理表面處理系統(tǒng),，其獨特的設(shè)計保證了高度穩(wěn)定和均勻輝光放電等離子體產(chǎn)生，可應(yīng)用于微流控,、組織工程,、石墨烯,、2D材料等納米科學(xué)以及微電子領(lǐng)域，適用于諸多材料表面清潔,、疏水性增強,、層間粘附、刻蝕等操作,，標(biāo)配一路自動氣體流量計,，可實現(xiàn)對工藝氣體的準(zhǔn)確控制。
CUTE系列等離子清洗機,，其艙體采用鋁合金制作,，堅固耐用且抗腐蝕，其艙體自帶顯示屏,，配合顯示屏下方的操作按鈕,，使用簡單，方便快捷,。
規(guī)格參數(shù)
項目 | 參數(shù) |
艙體材質(zhì) | 鋁合金 |
艙體內(nèi)部尺寸 | 140mm x 200mm x 110mm |
電源頻率 | 20~100kHz |
電源功率 | zui大100W 可自由調(diào)節(jié) |
標(biāo)準(zhǔn)氣體輸入 | 1 x 氣路 |
額外氣體輸入 | 2 x 空管道可供升級 |
氣體流速控制 | MFC自動控制 |
zui大流速 | 100sccm |
氣體流速控制精度 | 滿量程的1% |
真空泵抽氣速率 | 80L/min |
zui小真空 | 1 x 10-3 Torr |
真空測量范圍 | 大氣壓 ~ 5 x 10-5 Torr |
顯示 | 彩色觸摸屏,，圖形化控制界面 |
操作員分級 | 2級操作人員分級 |
程序 | 可進行半自動控制和全自動編程控制 |
參數(shù)存儲 | zui大10組工藝參數(shù)儲存，每組工藝包含zui多10個工藝步驟 |
功能圖解
應(yīng)用系統(tǒng)
PDMS芯片制作
石墨烯,，2D材料表面處理
Bio-MEMS
組織工程
食品科學(xué)
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