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KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列
圖片
簡介
法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng),，結(jié)構(gòu)緊湊,，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理zui大直徑4英寸的晶圓,，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝,，可自動調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度,，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱,，也不需要單獨(dú)的冷卻單元,。另外，UV-KUB系列先進(jìn)的設(shè)計,，保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性,，其zui小分辨率可達(dá)2μm，zui大發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,，如AZ系列,、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列,。
規(guī)格參數(shù)
項目 | UV-KUB 2 | UV-KUB 3 |
zui小分辨率 | 2 μm | 2 μm |
光源波長 | 365 nm / 385 nm / 405 nm | 365 nm |
能量密度 | 25 mW / cm2 ± 10 % | 30 mW / cm2 ± 10 % |
熱效應(yīng)zui大升溫 | < 1°C | < 1°C |
曝光時間 | 1s~18 hours | 1s~18 hours |
zui大存儲程序數(shù)量 | 10個 | 無限制 |
對準(zhǔn)分辨率 | / | < 3 μm |
外形尺寸 | 260 x 260 x 260 mm3 | 480 x 480 x 480 mm3 |
重量 | 8.2 kg | 55 kg |
顯示屏 | 彩色觸摸屏5.7 inches | 彩色觸摸屏15.6 inches |
功能圖解
UV-KUB 2型光刻機(jī),，是國際市場上一款采用UV-LED光源系統(tǒng)的光刻機(jī)，其配備了基于LED光源的光學(xué)頭,，使用壽命大大提高,，結(jié)構(gòu)小巧，性價比高,，非常適合實驗室應(yīng)用,。
UV-KUB 3是一款帶對位功能的UV-LED曝光機(jī)，光源為365nm,，其觸摸屏和CCD相機(jī)代替了傳統(tǒng)的顯微鏡及雙筒目鏡,，控制器提供了圖像捕獲、測量以及對齊坐標(biāo)的記錄等功能,，可以實現(xiàn)預(yù)對準(zhǔn),，這樣，用戶再通過操作手柄便能方便的進(jìn)行對準(zhǔn)操作,。
UV-KUB 2
UV-KUB 3
應(yīng)用系統(tǒng)
微流控芯片
MEMS器件
暫無數(shù)據(jù),！
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