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產(chǎn)品介紹：

• 反應(yīng)艙：
  材料：鋁

  有效尺寸：600 x 600 x 600mm

  容積：216升

  艙門：裝有可視窗口

  托盤：5個(gè),。尺寸：562 x 660 x 40mm

• 真空度測(cè)量：

  皮拉尼真空計(jì)（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來(lái)測(cè)量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)）

• 真空泵：

  旋片式真空泵,；60m³ 每小時(shí),；含真空泵油。

• 頻射發(fā)生器：

  0~1000w可調(diào),，100KHZ發(fā)生器

• 控制系統(tǒng)：

  觸摸屏操作,，PLC控制系統(tǒng)

  PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能：

  1、自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程,；

   2,、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程；

   3,、測(cè)定真空泵壓力,、抽真空時(shí)間、充氣速度,、工作壓力,、處理時(shí)間、溫度,、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo),；

   4、監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo),，保證在設(shè)定范圍之內(nèi),；

   5,、 設(shè)定操作、維護(hù)密碼,。

• 電源：

  380V AC,、三相、50Hz,、40A.

• 反應(yīng)氣體：

  一個(gè)氣體輸入端口,，含氣體流量控制器（MFC）；根據(jù)用戶需要,，可擴(kuò)展

• 氣體輸入：

  直徑1/4英寸（0.645厘米）管道,；輸入壓力：1Bar.

• 尾氣排放：

  直徑28mm 輸出端口。

• 安全性能：

  急停開關(guān),；真空泵保護(hù)鎖,；高溫保護(hù)鎖；CE安全認(rèn)證,。

可選件：

• 300 m³/小時(shí) 的機(jī)械增壓泵
• 頻射發(fā)生器：2.45GHZ,， 13.56MHZ
• 多個(gè)氣體輸入管道。
• 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
• 根據(jù)客戶要求制作的托盤,。
• 輥輪式載料系統(tǒng),。
• N₂ Purge.