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產(chǎn)品介紹：

• 反應(yīng)艙：

  材料：鋁

  有效尺寸：700 x 700 x 1000mm

  容積：490升

  艙門：裝有可視窗口

  托盤：8個,。尺寸：591 x 697 x 40mm

• 真空度測量：

  皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的,，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)）

• 真空泵：

  旋片式真空泵；480m³ 每小時的機械增壓泵,。

• 頻射發(fā)生器：

  0~2500w可調(diào),，100KHZ發(fā)生器

• 控制系統(tǒng)：

  觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng)

  PLC可實現(xiàn)下列功能：

  1,、自動控制反應(yīng)過程,；

   2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程,；

   3,、測定真空泵壓力、抽真空時間,、充氣速度,、工作壓力、處理時間,、溫度,、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標；

   4,、監(jiān)測所有的運行指標,，保證在設(shè)定范圍之內(nèi)；

   5,、 設(shè)定操作,、維護密碼。

• 電源：

  380V AC,、三相,、50Hz、40A.

• 反應(yīng)氣體：

  一個氣體輸入端口,，含氣體流量控制器（MFC）,；根據(jù)用戶需要，可擴展

• 氣體輸入：

  直徑1/4''（0.645厘米） 管道,；輸入壓力：1Bar.

• 尾氣排放：

  直徑38mm 輸出端口,。

• 安全性能：

  急停開關(guān)；真空泵保護鎖,；高溫保護鎖,；CE安全認證。

可選件：

• 頻射發(fā)生器：2.45GHZ,， 13.56MHZ

• 多個氣體輸入管道,。

• 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序

• 根據(jù)客戶要求制作的托盤。

• 輥輪式載料系統(tǒng)。

• N₂ Purge.