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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
EddyCus® TF lab系列產(chǎn)品是一款適合實(shí)驗(yàn)室研發(fā)或成品檢測(cè)使用的面阻及膜厚實(shí)時(shí)測(cè)量?jī)x器,。其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,，不僅適用于玻璃、硅,、塑料基板上的導(dǎo)電性薄膜的面電阻和厚度的測(cè)量,，同時(shí)也適用于多種單層膜材料厚度的實(shí)時(shí)測(cè)量。根據(jù)傳感器之間距離的不同,，EddyCus TF lab可滿足不同的測(cè)試需求,，傳感器標(biāo)準(zhǔn)距離為10mm，zui大距離可至60mm,。
應(yīng)用領(lǐng)域：
·薄膜面電阻的測(cè)量
·薄膜厚度的測(cè)量
·導(dǎo)電性基板厚度的測(cè)量
·與電阻相關(guān)的其他參數(shù)的測(cè)量
技術(shù)特點(diǎn)：
·非接觸式實(shí)時(shí)測(cè)量
·可實(shí)現(xiàn)對(duì)幾乎所有平面樣品的測(cè)量
·測(cè)量傳感器與樣品之間的距離及測(cè)量 點(diǎn)的大小可調(diào)
·掃頻范圍可達(dá)256個(gè)頻率點(diǎn)
·薄膜厚度測(cè)量可至納米量級(jí)
·操作簡(jiǎn)單,，軟件功能豐富
| 技術(shù)指標(biāo) | EddyCus® TF lab-1 | EddyCus® TF lab-2 | |
| 傳感器之間距離 | 10mm | up to 60 mm possible | |
厚度測(cè)量 范圍 | 高導(dǎo)電率材料 (大于 10 MS/m) | 5 nm – 50 µm | 5 nm – 100 µm |
| 低導(dǎo)電率材料 (小于 10 MS/m) | 10 nm – 1 mm | 10 nm – 250 µm | |
| 面阻測(cè)量范圍 | 0，01 – 1000 Ω/sq | ||
| 導(dǎo)電率范圍 | 1– 67 MS/m | ||
薄膜厚度測(cè)量精度 | ± 10% from <20 nm ± 5% from 20-200 nm ± 2,，5% from 200nm– 1 µm ± 1% from > 1 µm | ||
面電阻測(cè)量精度 (e.g. TCO) | ± 2,，5% from 0，01 – 20 Ω/sq ± 5% from 20 – 100 Ω/sq ± 10% from 100 – 1000 Ω/sq | ||
| 傳感器 | 可根據(jù)不同應(yīng)用要求配置傳感器 | ||
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