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SNE-3200M型掃描電鏡是韓國(guó)SEC公司研制的多功能,、經(jīng)濟(jì)型Mini-SEM。其分辨率為15 nm,，小型光圈構(gòu)造實(shí)現(xiàn)**6萬(wàn)倍的放大倍率,；支持二次電子成像與背散射電子成像，適用于質(zhì)量管理,、研發(fā),、教育等目的；可通過(guò)U.I界面中鼠標(biāo)控制簡(jiǎn)單,、方便地操作3軸載臺(tái)移動(dòng),；能在雙視圖模式下同時(shí)對(duì)SE/BSE圖像進(jìn)行查看與存檔。該款電鏡簡(jiǎn)化了操作步驟,，讓熟練度不高的操作人員或?qū)W生使用起來(lái)更為便捷,。
技術(shù)參數(shù)：
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 15nm (30kV， 二次電子成像) 20nm（30kV,， 背散射電子成像)） |
放大倍率 | 20x~60,，000x | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器（SE） 背散射電子探測(cè)器（BSE） | |
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 | |
載臺(tái)系統(tǒng) | 載臺(tái)運(yùn)動(dòng) | 3軸系統(tǒng) (X， Y,， R) X,， Y-軸: 35mm / R-軸: 360° * 影像偏移 : ±150μm |
**樣品尺寸 | 70mm（Φ）*30mm（H） | |
成像系統(tǒng) | 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)啟動(dòng),，自動(dòng)聚焦,，自動(dòng)消像散，自動(dòng)調(diào)節(jié)對(duì)比與亮度 |
圖像格式 | BMP,， JPEG,， PNG， TIFF | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高&低真空 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵/渦輪式分子泵（全自動(dòng)） | |
尺寸與重量 | 主機(jī) | 390(W)x380(D)x560(H)mm,， 83kg |
控制單元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm,， 37kg | |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm， 24kg |
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移動(dòng)端
工商已核實(shí)
