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SNE-4500M型掃描電鏡是韓國SEC公司研制的高分辨、自動化,、經(jīng)濟(jì)的高端型號Mini-SEM,，具備與大型掃描電鏡同等的分辨率。該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了大電鏡的小型化處理,，放大倍率高達(dá)10萬倍,；裝載易于使用的可變光闌，可達(dá)到5nm圖像分辨率,，是臺式電鏡中分辨率**的設(shè)備,；作為**一款5軸載臺的Mini-SEM， 能同時運(yùn)用鼠標(biāo)控制與快捷鍵移動樣品進(jìn)行全方位分析,；可通過多種掃描模式與測試工具獲得多種分析結(jié)果,。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué),、教育,、鑒定、工業(yè),、電子,、環(huán)境、能源等領(lǐng)域,。
儀器配置
型號 | 參數(shù) | |
SEM basic | SNE-4500M | 分辨率：5nm,，放大倍數(shù)：100，000倍,，探測器：二次電子（SE）,，電壓：1到30kv，樣品臺：X,，Y,，R，Z,，T五軸/手動控制,，真空：高 |
含 | 臺式電腦（或筆記本電腦）/因特爾處理器，硬盤：500GB,，RAM緩存:4GB | |
顯示器（21.5英寸） | ||
機(jī)械泵（裝配；軟管）；SEM備用零件（燈絲,，試件臺,，夾具，扳手……）Cable; Connecting 連接電纜 | ||
SEM Additional accessories | 背散射探測器,，類型：固態(tài)4通道 | |
自動軸控制 -Type: X,，Y，R(3-axis)/DC Type(Basic);類型：X,，Y,，R(3軸)/DC型(標(biāo)配) | ||
EDS System EDS系統(tǒng) | element | 分辨率：129 電子伏 / 元素范圍：從B 到Am， 反應(yīng)區(qū)域：25mm2,， C系列Si3N4窗口,，軟件：TEAM（頻譜分析，圖像,，多點(diǎn),，線掃描，數(shù)據(jù)記錄） |
圖1 SNE-4500M型掃描電鏡
技術(shù)參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 5nm (30kV,， 二次電子成像) |
放大倍率 | 20x~100,，000x | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探測器 | 二次電子探測器（SE） | |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
載臺系統(tǒng) | 載臺運(yùn)動 | 5軸系統(tǒng) (X， Y,， R,， Z， T -手動) |
X,， Y-軸: 40mm / R-軸: 360° | ||
Z-軸: 0~35mm / Tilt-軸 : 0~45° | ||
* 影像偏移 : ±150μm | ||
**樣品尺寸 | 80mm（Φ）*35mm（H） | |
成像系統(tǒng) | 自動功能 | 自動啟動,，自動聚焦，自動消像散,，自動調(diào)節(jié)對比與亮度 |
圖像格式 | BMP,， JPEG， PNG,， TIFF | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高真空（低真空可選） |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵/渦輪式分子泵（全自動） | |
尺寸與重量 | 主機(jī) | 390(W)x380(D)x560(H)mm,， 88kg |
控制單元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm， 37kg | |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm,， 24kg |
EDS(elment）介紹
EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是裝載在SEM(電子顯微鏡)上的可以對樣品表面進(jìn)行成分分析的設(shè)備,。電子束轟擊樣品表面后，可產(chǎn)生多種信號,，EDS探測器通過檢測其中的特征X-Ray,，進(jìn)行定性和定量分析。用戶可采用線掃,、面掃等模式,，進(jìn)行點(diǎn),、線、面等多區(qū)域多樣的表面成分分析,，并生成不同格式的結(jié)果報(bào)告,。賽可所有電鏡型號都可以裝載EDS探測器，其搭載的袖珍EDS和大型電鏡配備的EDS具有相同的性能,，且不需液氮,，操作快速、簡便,。
(a) 定性定量分析
提供快速精準(zhǔn)的定性及定量分析結(jié)果,，面，點(diǎn)等多領(lǐng)域多樣的表面成分分析,，如圖2,。
- 自動分離重疊峰值， 提供高信頼性結(jié)果,。
圖2 賽可臺式掃描電鏡EDS圖譜
(b) 線掃（Line Scan）
根據(jù)使用者指定的直線來進(jìn)行分析,，可以明顯區(qū)分各元素差異，如圖3,。
圖3 賽可臺式掃描電鏡EDS線掃圖
(c) 面掃（Mapping）
以不同顏色區(qū)分各元素所在區(qū)域,，如圖4。
圖4 賽可臺式掃描電鏡EDS面掃圖
自動軸控制
在標(biāo)配的手動控制載臺上搭載電動控制,，可以對載臺在X/Y/R三軸的移動進(jìn)行自動控制,，使樣品移動更簡單。
用戶可以利用控制界面進(jìn)行位置移動,，在軟件中雙擊鼠標(biāo),，位置回歸中心點(diǎn)。
圖5 自動化平臺
設(shè)備應(yīng)用展示
晶圓 (SE/10 kV/30,，000x) | 氮化鎵(SE/15 kV/10,，000x) |
二氧化硅（SE/20 kV/30，000x） | 氧化鋅（SE/5 kV/15,，000x） |
當(dāng)前SEC SEM 4500M臺式掃描電鏡現(xiàn)貨大促,，直降30W，有興趣快來電咨詢德祥,！
暫無數(shù)據(jù),！
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