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SNE-4500P型掃描電鏡是韓國SEC公司研制的高分辨、自動化,、經(jīng)濟的高性能Mini-SEM，具備與大型掃描電鏡同等的分辨率,，為SNE-4500M的升級版本,。該設(shè)備實現(xiàn)了大電鏡的小型化處理，放大倍率高達(dá)10萬倍,；裝載易于使用的可變光闌,，可達(dá)到5nm圖像分辨率,，是臺式電鏡中分辨率**的設(shè)備；使用多種探測器,，可得到表面形貌信息成像（SE）與材料信息成像（BSE）結(jié)果,，適用于質(zhì)量管理、研發(fā),、教育等目的,；作為**一款5軸載臺的Mini-SEM， 能同時運用鼠標(biāo)控制與快捷鍵移動樣品進(jìn)行全方位分析,；機動載臺的“點擊&移動”特性可使圖像獲取更為便捷,；能在雙視圖模式下同時對SE/BSE圖像進(jìn)行查看與存檔。
技術(shù)參數(shù)：
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 5nm (30kV,， 二次電子成像) 8nm（30kV,， 背散射電子成像)） |
放大倍率 | 20x~150，000X | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30~6step) | |
探測器 | 二次電子探測器（SE） 背散射電子探測器（BSE） | |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 偏壓系統(tǒng)—自動偏壓系統(tǒng) | |
載臺系統(tǒng) | 載臺運動 | 5軸系統(tǒng) （電動式） X,， Y-軸: 40mm / R-軸: 360° Z-軸: 0~40mm Tilt-軸: -15~90° X,，Y軸偏移（Max.150μm） |
**樣品尺寸 | 80mm（Φ）*40mm（H） | |
成像系統(tǒng) | 自動功能 | 自動啟動，自動聚焦,，自動消像散,，自動調(diào)節(jié)對比與亮度 |
圖像格式 | BMP， JPEG,， PNG,， TIFF | |
相機格式 | CCD相機 | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高/低真空 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機械泵/渦輪式分子泵（全自動） | |
尺寸與重量 | 主機 | 390(W)x380(D)x560(H)mm， 88kg |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm,， 24kg |
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