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產(chǎn)品介紹：
等離子體樣品清洗設(shè)備Evaction E50主要用于場發(fā)射掃描電鏡樣品和樣品室內(nèi)碳?xì)浠衔铩⒂袡C物和表面碳污染的清洗,。Evaction E50可以安裝在電鏡交換倉或樣品室內(nèi),，利用等離子體進行清洗，也可以用紫外線進行清洗,，無需切換到低真空模式即可使用,，射頻功率高達50W，清洗效率高,。
主要特點：
n清洗效率高（射頻功率50W）
n等離子體和紫外線雙重清洗
n高真空模式下運行,，真空范圍大
n無損清洗
n無需特殊氣源
n兼容SEM、FIB等設(shè)備
操作方式 | 桌面按鈕控制 |
遠(yuǎn)程遙控 | 支持安卓平板電腦或藍牙控制 |
尺寸 | 44 x 8.9 x 22 cm (W x H x D) |
射頻功率 | 20 - 75 W (13.56 MHz RFHC) |
電源 | 100 – 240 VAC 50/60 Hz |
標(biāo)準(zhǔn) | 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
暫無數(shù)據(jù),！
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