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THERMAL NIL桌面式納米熱壓印機
THERMAL NIL桌面式納米熱壓印機

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丹麥

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筱曉(香港)光子技術(shù)有限公司

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THERMAL NIL 桌面式納米熱壓印機

NIR-MFD-S-SM-2 NILT CNI 實驗用納米熱壓印機是專為實驗室和研發(fā)機構(gòu)設(shè)計和開發(fā)的簡單易用,、性能穩(wěn)定的研發(fā)型設(shè)備,,用戶可以通過CNI設(shè)備高效、低成本地實現(xiàn)高精度的納米熱壓工藝,,許多知名的研發(fā)機構(gòu)均購買了CNI的設(shè)備和NILT CNI熱壓設(shè)備,。

產(chǎn)品特點

● 占地小、操作簡便

可實現(xiàn)高質(zhì)量的圖形復(fù)制

可實現(xiàn)納米熱壓設(shè)備的一切功能,,而無需昂貴的工藝設(shè)備

產(chǎn)品應(yīng)用

在硅片上制作納米級光柵

壓印易碎的材料(例如III-V族材料)

微結(jié)構(gòu)加工

制作壓印印章

保護母版的適用壽命

熱壓高深寬比結(jié)構(gòu)圖形

技術(shù)參數(shù)

THERMAL NIL主要性能指標(biāo)

集成控溫卡盤,,可對溫度進行測量、控制

可適用于100mm(4 英寸以下)所有尺寸和形狀的壓印模板,。

可適用于Silicon,, Quartz, Nickel and Polymer materials

壓印程序可進行編程

適用所有熱壓印材料

設(shè)備可用于復(fù)制壓印母板

壓印溫度可達200 攝氏度

壓力范圍:1‐10 bar

壓印精度:40nm 或更好 (可完成工藝驗收)

將模板加熱和溫度測量集成與壓印載盤上

載盤適用于易碎襯底

快速升溫,,快速降溫,,擁有**技術(shù)的卡盤設(shè)計,,可保證快速升溫、降溫并保持良好的溫度均勻性,。20℃‐130℃‐70℃少于8 分鐘

提供COC 有機聚合物中間層軟膜(***的母板復(fù)制工藝),,耗材及工藝培訓(xùn)

提供壓印相關(guān)材料

提供工藝培訓(xùn)和支持

壓印程序可進行編程(溫度、壓力,、時間)

壓印實例

聚合物中間層工藝

NIL TECHNOLOGY ApS (NILT)高分子聚合物中間層壓印技術(shù)可以實現(xiàn)納米壓印/熱壓印非平面化的壓印,,同時高分子聚合物中間層的熱塑彈性材料實現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移和復(fù)制??杀Wo昂貴的母板因多次轉(zhuǎn)印而損壞,,同時用于母板的復(fù)制。

NIL TECHNOLOGY ApS (NILT) 部分應(yīng)用實例

1,、仿生應(yīng)用用于制作昆蟲眼部六角結(jié)構(gòu)

2,、微型注射針頭結(jié)構(gòu)

3、方形結(jié)構(gòu)陣列500nm

4,、分布式反饋激光器,,240nm光柵結(jié)構(gòu)

5、磷化銦(InP),,突出高度:112nm

咨詢電話:021-64149583,、021-56461550021-65061775

公司郵箱:info@micro***********

公司地址:上海市楊浦區(qū)黃興路2077號藍(lán)天大廈21F

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