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超高溫碳化物沉積爐
超高溫碳化物沉積爐

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

HCVD-101015-ZrC

品牌

頂立科技

產(chǎn)地

湖南

樣本

暫無(wú)
湖南頂立科技股份有限公司

金牌會(huì)員

|

第12年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

留言詢(xún)價(jià)
電話詢(xún)價(jià)
核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±5~±20
  • 最高溫度:

    2000
  • 額定溫度:

    2000
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超高溫碳化物沉積爐技術(shù)特征

采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制H2,、C3H6的流量和壓力,,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)?。?/span>

全密閉沉積室,,密封效果好,,抗污染能力強(qiáng);

多通道工藝氣路,,流場(chǎng)均勻,,無(wú)沉積死角,沉積效果好,;

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,,環(huán)境友好;

可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),,維修率低;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2,。

超高溫碳化物沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號(hào)HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
**溫度(℃)2000200020002000200020002000
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn),。

超高溫碳化物沉積爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén),;立式-上出料/下出料

爐門(mén)鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

熱電偶:C/S分度號(hào)

紅外儀:?jiǎn)伪壬?雙比色

真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組


創(chuàng)新點(diǎn)

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用戶(hù)評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性?xún)r(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無(wú)評(píng)論!
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  • 超高溫碳化物沉積爐的工作原理介紹,?
  • 超高溫碳化物沉積爐的使用方法?
  • 超高溫碳化物沉積爐多少錢(qián)一臺(tái),?
  • 超高溫碳化物沉積爐使用的注意事項(xiàng)
  • 超高溫碳化物沉積爐的說(shuō)明書(shū)有嗎,?
  • 超高溫碳化物沉積爐的操作規(guī)程有嗎?
  • 超高溫碳化物沉積爐的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎,?
  • 超高溫碳化物沉積爐有現(xiàn)貨嗎,?
  • 超高溫碳化物沉積爐包安裝嗎?
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