參考價(jià)格
100-150萬(wàn)元型號(hào)
SiC、BN品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
真空溫控精度：
±7.5最高溫度：
1500額定溫度：
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臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC,、BN）
產(chǎn)品描述：
臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC,、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性,、復(fù)合材料制備等
應(yīng)用范圍：
外延片基座,、晶體爐高溫耐材、熱彎模具,、半導(dǎo)體坩堝,、陶瓷基復(fù)合材料等
采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力,，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,，壓力波動(dòng)范圍小,；
全密閉沉積室,，密封效果好,，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路,，流場(chǎng)均勻,，無(wú)沉積死角，沉積效果好,；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,，環(huán)境友好；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),，維修率極低；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS,。
| 參數(shù)\型號(hào) | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作區(qū)尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn),。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén),；立式-上出料/下出料
爐門(mén)鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
5月23-25日，由建筑材料工業(yè)技術(shù)情報(bào)研究所,、中國(guó)地質(zhì)大學(xué)（武漢）納米礦物材料研究中心,、中南大學(xué)礦物材料及其應(yīng)用湖南省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合主辦的第十八屆中國(guó)非金屬礦科技與市場(chǎng)交流大會(huì)在宜昌成功召開(kāi)!大會(huì)以
5月5日，頂立科技2025年第二期中堅(jiān)力量班在星沙基地六樓會(huì)議室順利召開(kāi),，公司中高層管理人員近60人齊聚一堂,，圍繞“提升個(gè)人能力，做優(yōu)秀管理者,；從單兵作戰(zhàn)到團(tuán)隊(duì)指揮,，提升部門(mén)整體素質(zhì)”主題展開(kāi)深入討論
4月28日,，由石墨邦主辦的2025年第六屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會(huì)在長(zhǎng)沙召開(kāi),。頂立科技董事長(zhǎng)戴煜博士在會(huì)上作“半導(dǎo)體用關(guān)鍵涂層材料及熱工裝備技術(shù)與應(yīng)用現(xiàn)狀”主題報(bào)告，介紹了公司在半導(dǎo)體關(guān)鍵涂層材料及熱
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