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臥式化學(xué)氣相沉積爐(碳化硅)
臥式化學(xué)氣相沉積爐(碳化硅)

參考價(jià)格

100-150萬元

型號

HCVD-060609-C

品牌

頂立科技

產(chǎn)地

湖南長沙

樣本

暫無
湖南頂立科技股份有限公司

金牌會員

|

第12年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    真空
  • 溫控精度:

    ±7.5
  • 最高溫度:

    1500
  • 額定溫度:

    1500
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化學(xué)氣相沉積爐(碳化硅)可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層,、基體改性等。

 

技術(shù)特征

 

☆ 采用先進(jìn)的控制技術(shù),,能精密控制MTS的流量和壓力,,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍??;
☆ 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,,抗污染能力強(qiáng),;
☆ 采用多通道沉積氣路,流場均勻,,無沉積死角,,沉積效果好;
☆ 對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理;
☆ 采用**設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組,,持續(xù)工作時(shí)間長,,維修率極低。

 

產(chǎn)品規(guī)格

 

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主要配置

 

☆ 爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降,;旋轉(zhuǎn)移開/平行移開(大尺寸爐門),;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊 

☆ 爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
☆ 爐膽:軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
☆ 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
☆ 工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計(jì)
☆ 熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號

  


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