參考價格
100-150萬元型號
VCVD品牌
頂立科技產地
湖南樣本
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其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
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±5最高溫度：
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立式化學氣相沉積爐（SiC,、BN）
產品描述：
立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）可用于材料的表面涂層,、基體改性,、復合材料制備等
應用范圍：
外延片基座、晶體爐高溫耐材,、熱彎模具,、半導體坩堝、陶瓷基復合材料等
采用先進的控制技術,，能精密控制MTS的流量和壓力,，爐膛內沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍??；
全密閉沉積室，密封效果好,，抗污染能力強,；
多通道工藝氣路,，流場均勻，無沉積死角,，沉積效果好,；
多級高效尾氣處理系統，能有效處理高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點粘性產物，環(huán)境友好,；
可選配新設計的防腐蝕真空機組,，持續(xù)工作時間長，維修率極低,；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS,。
| 參數\型號 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數可根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據,，具體以技術方案和協議為準,。
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質：內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器,、馬弗材質：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號
真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組
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關于我們湖南頂立科技股份有限公司創(chuàng)建于2006年，專注于特種熱工裝備及特種材料的研制,。公司是A股主板上市公司（楚江新材002171）的控股子公司,，國家產業(yè)投資基金投資企業(yè)。公司擁有“全國博士后科研工作
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