參考價格
100-150萬元型號
VCVD品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
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其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
真空溫控精度：
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立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC,、BN）
產(chǎn)品描述：
立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC,、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性,、復(fù)合材料制備等
應(yīng)用范圍：
外延片基座,、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝,、陶瓷基復(fù)合材料等
采用先進的控制技術(shù),，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,，壓力波動范圍?。?/span>
全密閉沉積室,，密封效果好,，抗污染能力強；
多通道工藝氣路,，流場均勻,，無沉積死角，沉積效果好,；
多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好,；
可選配新設(shè)計的防腐蝕真空機組,，持續(xù)工作時間長，維修率極低,；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS,。
| 參數(shù)\型號 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù),，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn),。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器,、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號
真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組
暫無數(shù)據(jù),！
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