參考價(jià)格
100-150萬(wàn)元型號(hào)
VCVD品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
真空溫控精度：
±5最高溫度：
1500額定溫度：
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立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC,、BN）
產(chǎn)品描述：
立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）可用于材料的表面涂層,、基體改性,、復(fù)合材料制備等
應(yīng)用范圍：
外延片基座、晶體爐高溫耐材,、熱彎模具,、半導(dǎo)體坩堝、陶瓷基復(fù)合材料等
采用先進(jìn)的控制技術(shù),，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,，壓力波動(dòng)范圍小,；
全密閉沉積室,，密封效果好，抗污染能力強(qiáng),；
多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻,，無(wú)沉積死角,，沉積效果好；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),，能有效處理高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,，環(huán)境友好,；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),，維修率極低,；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 參數(shù)\型號(hào) | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,，不作為驗(yàn)收依據(jù),，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門,；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器,、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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