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JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
廣受好評的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn),,實現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm,、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相,。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),,提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察,、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性,。
廣受好評的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn),實現(xiàn)了分辨率(15kV 0.8nm,、1kV 1.0nm)的進(jìn)一步提升,,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),,能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察,、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性,。主要特點如下:
◇ 半浸沒式物鏡
半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場,因而可以獲得超高分辨率,。
◇ High Power Optics
High Power Optics 是獨特的電子光學(xué)系統(tǒng),,既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍,,可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍(FEG)的探針電流,,**光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時也能保持小束斑,兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流,。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng),,從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的*小物鏡光闌而不需要改換。
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合,,可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子,。
**光闌角控制鏡(ACL)
**光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度,。因此,,即使照射樣品的探針電流很大,,與傳統(tǒng)方式相比,也能獲得很小的電子束斑,。
即使探針電流很大,,束斑直徑也很小
長時間分析時穩(wěn)定度也很高
◇ 柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式
GB 模式的效果
GB 模式在低電壓下提高分辨率
左圖一般模式,右圖GB模式
增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率
◇ r-過濾器
◇ LABE檢測器(選配件)
利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像
◇ 擴(kuò)展性
能譜儀(EDS)
波譜儀(WDS)
陰極熒光系統(tǒng)(CL)
暫無數(shù)據(jù),!