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特征X射線及其衍射X射線是一種波長(zhǎng)（0.06-20nm）很短的電磁波,，能穿透一定厚度的物質(zhì),，并能使熒光物質(zhì)發(fā)光、照相機(jī)乳膠感光,、氣體電離,。用高能電子束轟擊金屬靶產(chǎn)生X射線，它具有靶中元素相對(duì)應(yīng)的特定波長(zhǎng),，稱為特征X射線,。如銅靶對(duì)應(yīng)的X射線波長(zhǎng)為0.154056 nm,。
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