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臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器[1] ,。根據(jù)使用傳感器的不同,，接觸式臺階測量可以分為電感式,、壓電式和光電式3種。其測量原理是：當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時,，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,，還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況,。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后,，可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來,，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器,、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響,。
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