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臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器[1] ,。根據(jù)使用傳感器的不同,，接觸式臺(tái)階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種,。其測量原理是：當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng),。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測量電橋后,，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào),。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來,，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào),。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測量的影響,。
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