半導(dǎo)體行業(yè)是碳化硅材料發(fā)展?jié)摿ψ畲蠛彤a(chǎn)業(yè)附加值最高的應(yīng)用方向,。 二十世紀(jì)九十年代以來(lái),，美、日,、歐和其他發(fā)達(dá)國(guó)家為了保持航天,、軍事和技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)，將發(fā)展碳化硅半導(dǎo)體技術(shù)放在極其重要的戰(zhàn)略地位,，相繼投入了大量的人力和資金對(duì)碳化硅材料和器件技術(shù)進(jìn)行了廣泛深入的研究，旨在提升其裝備系統(tǒng)的能力和減小組件的體積,，目前已經(jīng)取得了重大的突破,。 一、碳化硅概述 碳化硅（SiC）又叫金剛砂,，密度是3.2g/cm3,，天然碳化硅非常罕見，主要通過(guò)人工合成,。按晶體結(jié)構(gòu)的不同分類,，碳化硅可分為兩大類：αSiC和βSiC。  碳化硅材料具有優(yōu)良的熱力學(xué)和電化學(xué)性能,。 在熱力學(xué)方面,，碳化硅硬度在20℃時(shí)高達(dá)莫氏9...【詳細(xì)】