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PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng),，該產(chǎn)品是原位透射電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),，使研究

者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個(gè)可控的多場(chǎng)環(huán)境（包括力,、熱,、光,、電等），從而對(duì)材料或者

器件等樣品實(shí)現(xiàn)多重激勵(lì)下的原位表征,。 

性能指標(biāo)

 透射電鏡指標(biāo)：

● 兼容指定電鏡型號(hào)及極靴,；

● 可選雙傾版本，雙傾電學(xué)測(cè)量樣品桿Y軸傾角±25°（同時(shí)受限于極靴間距）,；

電學(xué)測(cè)量指標(biāo)：

● 包含一個(gè)電流電壓測(cè)試單元,；

● 電流測(cè)量范圍：１ nA-30 mA，9個(gè)量程,；

● 電流分辨率：優(yōu)于100 fA,；

● 電壓輸出范圍：普通模式±10 V，高壓模式±150 V,；

● 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量,、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存,。

掃描探針操縱指標(biāo)：

● 粗調(diào)范圍：XY方向2.5 mm,，Z方向1.5 mm；

● 細(xì)調(diào)范圍：XY方向18 um,，Z方向1.5 um,；

● 細(xì)調(diào)分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm,。

光纖指標(biāo)：

● 多模光纖外徑250 um,，保證電鏡系統(tǒng)真空指標(biāo)；

● 可選光纖探針,、平頭光纖,；

● 配備快速SMA接頭、FC接頭,；

加熱指標(biāo)：

● 溫度范圍：室溫到1000 ℃,；

● 溫度準(zhǔn)確度優(yōu)于 5% ,；

● 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃。

應(yīng)用場(chǎng)景

 可通過簡(jiǎn)單更換MEMS芯片種類以及不同STM探針為樣品施加至多四種激勵(lì),，實(shí)現(xiàn)多種復(fù)雜的測(cè)

試功能,，完成以往無法實(shí)現(xiàn)的研究。

（1）高溫拉伸/壓縮（加熱芯片+電學(xué)STM探針）,；

（2）熱電子發(fā)射/場(chǎng)發(fā)射（加熱芯片+電學(xué)STM探針）,；

（3）三端器件測(cè)量（電學(xué)芯片+電學(xué)STM探針）；

（4）電致發(fā)光現(xiàn)象研究（電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針）,；

（5）光電現(xiàn)象研究（電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針）,。

產(chǎn)品特色

穩(wěn)定性高

輕松獲得大幅度運(yùn)動(dòng)中的高分辨像，適用于更廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景和樣品體系,。

很長(zhǎng)的壽命

**技術(shù)（**種類：實(shí)用新型（具備高分辨多維操縱和電學(xué)測(cè)量的電子顯微鏡原位樣品桿） 

**號(hào)：202020944865 .4）的“爪-球”結(jié)構(gòu)探針桿因其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，是公認(rèn)皮實(shí)耐用的探

針桿。

很低維護(hù)成本

設(shè)備配套的針尖制備系統(tǒng)可低成本制備針尖耗材,?！弊?球“微動(dòng)結(jié)構(gòu)已實(shí)現(xiàn)模塊化量產(chǎn)，維護(hù)成

本低,。

很大的用戶群

在國(guó)內(nèi)擁有近200個(gè)高質(zhì)量原位用戶,，出口到歐美澳等地。每年,，用戶會(huì)產(chǎn)出大量高質(zhì)量研究成果

,。定期組織各類用戶交流活動(dòng)，搭建學(xué)術(shù)平臺(tái)供用戶交流,。