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 PicoFemto原位掃描電鏡光電力一體化系統(tǒng),，集成了掃描探針控制單元，可在三維空間內(nèi)對電學

探針與光纖探針進行亞納米級別精度的操縱與定位,。通過電學探針施加電場,，通過光纖施加光場，

對單個納米結(jié)構(gòu)進行操控并進行電學性質(zhì),、光電性質(zhì)的測量,。并可在物性測量的同時,，動態(tài)、高分

辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu),、化學組分,、元素價態(tài)進行綜合表征，大大地擴展了掃描電鏡的功能與應用

領(lǐng)域,。

性能指標

電學測量指標：

● 包含一個電流電壓測試單元,；

● 電流測量±1.5 A,，±100 fA；

● 電壓輸出±200 V,，±100 nV；

● 自動電流-電壓（I-V）測量,、電流-時間（I-t）測量,，自動保存。

掃描探針操作指標：

● 粗調(diào)范圍：XY方向2.5 mm,，Z方向1.5 mm,；

● 細調(diào)范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um,；

● 細調(diào)分辨率：XY方向0.4 nm,，Z方向0.04 nm。

光纖指標：

● 光纖外徑250 um,，保證電鏡系統(tǒng)真空指標；

● 可選光纖探針,、平頭光纖,、光纖透鏡；

● 可選SMA接頭,、FC接頭,。

力學傳感器指標：

● 載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN,、10 mN,、100 mN）,；

● 力測量實測噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN**載荷時）；

● 力測量實測分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN**載荷時）,；

● 自動測量力-距離曲線，自動保存,。