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四方光電（武漢）儀器有限公司
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產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號：Gasboard-2060
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4,、WF6、CF4,、SF6、NF3,、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量,。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4,、WF6、CF4,、SF6,、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時間快,，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計,，便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6,、CF4,、SF6,、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
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企業(yè)名稱
四方光電（武漢）儀器有限公司企業(yè)類型
有限責(zé)任公司（自然人投資或控股的法人獨資）信用代碼
914201005519974097法人代表
熊友輝注冊地址
武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)東街道鳳凰園一路5號科夢除氨產(chǎn)業(yè)基地1棟1-5層成立日期
2010-04-19復(fù)制注冊資本
3000萬元人民幣有效期限
2010-04-19 至 2030-04-19經(jīng)營范圍
一般項目 : 技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā),、技術(shù)咨詢,、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓,、技術(shù)推廣;軟件開發(fā);信息系統(tǒng)集成服務(wù);碳減排,、碳轉(zhuǎn)化、碳捕捉,、碳封存技術(shù)研發(fā);石油天然氣技術(shù)服務(wù);物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)研發(fā);機械設(shè)備研發(fā);儀器儀表制造;儀器儀表銷售;大氣污染監(jiān)測及檢測儀器儀表制造;大氣污染監(jiān)測及檢測儀器儀表銷售;環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表制造;環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表銷售;環(huán)境保護監(jiān)測;電子產(chǎn)品銷售;電子元器件批發(fā);非居住房地產(chǎn)租賃;貨物進出口;技術(shù)進出口;進出口代理,。（除許可業(yè)務(wù)外，可自主依法經(jīng)營法律法規(guī)非禁止或限制的項目）
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