復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司
已認(rèn)證
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在當(dāng)今高科技行業(yè)中,精密離子研磨技術(shù)的進(jìn)步對(duì)材料科學(xué),、半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)的發(fā)展至關(guān)重要,。
作為行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者,Technoorg Linda 再次突破創(chuàng)新,,在匈牙利首都布達(dá)佩斯剛剛結(jié)束的全球會(huì)議中正式發(fā)布了其最新產(chǎn)品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統(tǒng) Gentle Ion Beam(GIB),,為全球用戶(hù)帶來(lái)更加高效、精確的解決方案,。
復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司作為 Technoorg Linda 在中國(guó)的獨(dú)家合作伙伴,,我們?yōu)榭蛻?hù)提供全方位的產(chǎn)品培訓(xùn)、技術(shù)支持和售后服務(wù),。
當(dāng)前在國(guó)內(nèi)市場(chǎng),,Technoorg Linda 專(zhuān)注于引進(jìn)并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設(shè)備。本次發(fā)布的新產(chǎn)品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡(SEM)樣品制備,,Gentle Ion Beam(GIB)精修離子束系統(tǒng)主要用于雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,,對(duì) TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔。
01
新產(chǎn)品
SEMPREP SMART 離子研磨儀
SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍,。用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的最終加工和清潔,。離子加工可以改進(jìn)和清潔機(jī)械拋光的 SEM 樣品,并為 EBSD 分析制備無(wú)損表面。該設(shè)備還適用于快速截面加工,。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品,例如在半導(dǎo)體測(cè)試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現(xiàn)出色的效果,。
SEMPREP SMART 產(chǎn)品特點(diǎn):
先進(jìn)的離子槍設(shè)計(jì)和自動(dòng)化功能
采用全球獨(dú)家超高能離子槍?zhuān)罡呖蛇_(dá) 16keV,,帶來(lái)更快的加工速率,更優(yōu)異的加工效果,。
新型智能化操作軟件
Technoorg Linda 的新產(chǎn)品在設(shè)計(jì)上充分考慮了用戶(hù)的實(shí)際需求,,開(kāi)創(chuàng)性的將 AI 算法集成到系統(tǒng)中,使操作更加智能化,,提供多種操作模式:
配方庫(kù)-離線(xiàn):基于我們長(zhǎng)期的經(jīng)驗(yàn)積累
自動(dòng)配方生成 - 離線(xiàn):基于簡(jiǎn)短問(wèn)卷
Linda AI - 在線(xiàn):實(shí)時(shí)搜索最佳解決方案,,訪(fǎng)問(wèn)龐大數(shù)據(jù)庫(kù)以獲取最佳結(jié)果
高效,全面,,智能化的理解用戶(hù)需求,,提供即時(shí)的反饋和解決方案
高分辨率數(shù)字相機(jī)
在處理過(guò)程中用于樣品觀察
全新的對(duì)位樣品臺(tái)
在進(jìn)行 90° 截面樣品加工時(shí)帶來(lái)更加精確的樣品定位
可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)
為用戶(hù)帶來(lái)更加高效及精確的長(zhǎng)時(shí)間控溫
使用氬離子束進(jìn)行加工
平面加工模式
在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續(xù)旋轉(zhuǎn)的條件下進(jìn)行加工
Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類(lèi)型 (b)
90° 截面加工模式
使用鈦或玻璃擋板進(jìn)行連續(xù)搖擺的截面加工
TFT 板的 90° 加工,位置精度為 ±1 微米
加工點(diǎn)后方的 TFT
表面細(xì)節(jié)
新產(chǎn)品 02
GIB 精修離子束系統(tǒng)
Technoorg Linda 的精修離子束系統(tǒng)(GIB)適用于表面減薄,、其他表面處理后的后處理,、清潔以及去除無(wú)定形和氧化物表面層。當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時(shí),,其作用尤為明顯,。有了集成離子槍?zhuān)涂梢栽谘芯恐皩?duì)樣品進(jìn)行精修。實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,,對(duì) TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔,。
GIB 精修離子束系統(tǒng) 產(chǎn)品特點(diǎn):
儀器控制單元
電子元件、閉環(huán)冷卻系統(tǒng)和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內(nèi),。高純度(99.999%)氬氣用于供應(yīng)離子源,,其流量由高精度針閥調(diào)節(jié)??刂栖浖?Windows 操作系統(tǒng)下運(yùn)行,,可以單獨(dú)安裝在一臺(tái)計(jì)算機(jī)上,也可以安裝在 SEM 的計(jì)算機(jī)上
可與掃描電鏡集成
帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過(guò)連接管安裝到掃描電鏡上,。連接管輸出法蘭的尺寸與相應(yīng)的 SEM 端口尺寸相匹配,。通過(guò)線(xiàn)性傳輸系統(tǒng)提供離子源流動(dòng)性,可實(shí)現(xiàn)理想的工作距離(15-30 mm),。
低能量氬離子槍
低能量離子槍的直徑和長(zhǎng)度均為 50mm,。氬離子束的能量范圍:100keV - 2keV。2keV 時(shí)的最大束流為 70μA,。離子束為寬束,,F(xiàn)WHM 為 2mm。
歡迎您隨時(shí)聯(lián)系我們獲取更多產(chǎn)品詳情和應(yīng)用案例:
咨詢(xún)熱線(xiàn):400 857 8882
“得益于新發(fā)布的產(chǎn)品,Technoorg Linda 榮獲匈牙利創(chuàng)新獎(jiǎng),?!?/p>
在議會(huì)大廳舉行的頒獎(jiǎng)儀式上,Technoorg Linda 榮獲國(guó)家研究,、發(fā)展和創(chuàng)新辦公室頒發(fā)的“From Initial Research to the Market”類(lèi)別獎(jiǎng)項(xiàng),。
評(píng)審委員會(huì)由文化和創(chuàng)新部長(zhǎng)領(lǐng)導(dǎo),由科學(xué)家和公認(rèn)的經(jīng)濟(jì)專(zhuān)家組成,,主要根據(jù)經(jīng)濟(jì)成果和社會(huì)效益評(píng)選出杰出的創(chuàng)新成果,。
感謝匈牙利創(chuàng)新獎(jiǎng)委員會(huì)、Magyar Innovációs Sz?vetség 和 Nemzeti Kutatási,、Fejlesztési és Innovációs Hivatal(NKFI Hivatal)給予的這一難以置信的榮譽(yù),。
About
Technoorg Linda
Technoorg Linda 成立于 1990 年,是全球領(lǐng)先的離子束制樣設(shè)備制造商,。公司始終以技術(shù)創(chuàng)新為核心,,以客戶(hù)需求為導(dǎo)向,致力于為全球用戶(hù)提供最先進(jìn),、最可靠的解決方案,。多年來(lái),Technoorg Linda 憑借其卓越的產(chǎn)品質(zhì)量和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)服務(wù),,贏得了業(yè)界的廣泛認(rèn)可和信賴(lài),。
無(wú)論是在科研實(shí)驗(yàn)室,還是在工業(yè)生產(chǎn)線(xiàn)上,,Technoorg Linda 的新產(chǎn)品都將成為您不可或缺的得力助手,。讓我們共同期待,這一劃時(shí)代的創(chuàng)新產(chǎn)品為行業(yè)帶來(lái)的無(wú)限可能,!
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