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Gentle Mill 離子精修儀在安徽大學(xué)電鏡中心順利運(yùn)行,，歡迎預(yù)約DEMO！

復(fù)納科技 2024-03-21 | 閱讀：944

“ 離子精修儀 ”

消除 FIB 鎵離子導(dǎo)致的樣品非晶層問(wèn)題

“裝機(jī)成功啦,！”

在科學(xué)研究的道路上,，每一次突破都離不開(kāi)先進(jìn)的科研設(shè)備的支持。近日,，由曾獲諾貝爾學(xué)獎(jiǎng)(1964)的 Prof. A. M. Prohorov 和其合作者創(chuàng)立的匈牙利品牌 Technoorg Linda 旗下的 Gentle Mill 離子精修儀設(shè)備在安徽大學(xué)電鏡中心順利安裝,，經(jīng)過(guò)工程師們的精心調(diào)試，設(shè)備各項(xiàng)參數(shù)達(dá)標(biāo),，已經(jīng)成功實(shí)現(xiàn)了在實(shí)驗(yàn)室中的正常運(yùn)行,，并且展現(xiàn)出了令人滿(mǎn)意的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

設(shè)備順利裝機(jī)及安徽大學(xué)電鏡中心工作人員正在使用設(shè)備

01. 關(guān)于安徽大學(xué)電鏡中心

安徽大學(xué)電鏡中心是學(xué)校重點(diǎn)建設(shè)的高端平臺(tái)之一,。本著服務(wù)安大,、覆蓋安徽、面向全國(guó),、對(duì)標(biāo)國(guó)際的宗旨,，為高等學(xué)校,、科研院所及企事業(yè)單位提供對(duì)外測(cè)試服務(wù)，是國(guó)內(nèi)一流的電鏡微觀(guān)結(jié)構(gòu)表征平臺(tái),。中心目前已擁有一臺(tái) Crossbeam 550 FIB-SEM 雙束電鏡,，一臺(tái) F200 場(chǎng)發(fā)射電鏡，一臺(tái) NEOARM 單球差電鏡,，一臺(tái) Titan Themis Z 雙球差電鏡,。另外，中心還了配備熱電一體,，氣體加熱,，液體電化學(xué)以及力電一體等全套原位樣品桿。

02. 為什么使用離子精修儀,？

安徽大學(xué)電鏡中心的工作人員需要對(duì) FIB 減薄后的樣品進(jìn)行電子能量損失譜（EELS）分析,。但當(dāng)前面臨的問(wèn)題是， FIB 加工后帶來(lái)的非晶層以及注入的鎵離子都會(huì)對(duì) EELS 分析帶來(lái)干擾,，掩蓋了樣品的真實(shí)信息,。

通過(guò)使用 Gentle Mill 離子精修儀，其配備了專(zhuān)利設(shè)計(jì)的低能氬離子槍?zhuān)x子束能量最低可達(dá) 100 eV,，可把非晶層厚度精修到 1 nm 以下,，由此工作人員可以撥開(kāi)非晶層的迷霧，直接獲得樣品的真實(shí)信息,。

03. 離子精修案例分享

接下來(lái)我們一起看看經(jīng)過(guò)離子精修儀修復(fù) FIB 樣品的相關(guān)案例（鑒于對(duì)安徽大學(xué)科研成果的保護(hù),，我們未能直接放本次實(shí)驗(yàn) DEMO 的結(jié)果）

A 案例 1

經(jīng) Gentle Mill 設(shè)備精修后的 PbTiO3/SrTiO3 界面 HRTEM 圖像。

B 案例 2

ZnO 中添加 In2O3 的材料經(jīng) Gentle Mill 精修后的 HRTEM 圖像,。

C 案例 3

Bi0.9Sm0.1FeO3 樣品經(jīng) Gentle Mill 精修處理之后的 HRTEM 圖片,。

D 案例 4

La2/3-xLi3xTiO3 (LLTO) 樣品去除 FIB 產(chǎn)生的表面非晶層的完整流程。(a) 30 kV FIB 切割樣品的HRTEM照片,。(b-d) 連續(xù)使用低能氬離子精修后的 HRTEM 結(jié)果,。圖片中標(biāo)識(shí)了對(duì)應(yīng)的精修參數(shù)和非晶層厚度。

E 案例 5

Gentle Mill 離子精修后,，Zr 和 ZrO2 中 Nb 析出物的 EELS 分析結(jié)果

產(chǎn)品咨詢(xún) & DEMO 邀請(qǐng)

為了讓更多的科研人員親自體驗(yàn)到 Gentle Mill 離子精修儀的優(yōu)越性能,，我們誠(chéng)摯邀請(qǐng)您聯(lián)系我們獲取更多產(chǎn)品詳情、應(yīng)用資料或預(yù)約 DEMO,，相信它將為您的研究工作帶來(lái)新的啟示和突破,。

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ABOUT

離子精修儀介紹

Gentle Mill 離子精修儀專(zhuān)門(mén)用于解決聚焦離子束（FIB）高能鎵離子導(dǎo)致的樣品非晶層和離子注入問(wèn)題。

離子精修儀配備專(zhuān)利設(shè)計(jì)的低能氬離子槍?zhuān)?00 - 2000 eV,，連續(xù)可調(diào)）,，可在比FIB 更低的電壓下精修樣品，從而大幅減少損傷層厚度,，直至 1 nm 以下,。該法可對(duì) FIB 樣品/ TEM 樣品進(jìn)行表面減薄、表面后處理,、去除非晶層和氧化層,，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的表面清潔和最終精修，展現(xiàn)樣品原始形貌結(jié)構(gòu),，是改善 FIB 樣品的一種有效手段,。

此外，離子精修儀還可以部分去除 TEM 觀(guān)察時(shí)在樣品表面產(chǎn)生的碳沉積,，從而可以實(shí)現(xiàn)多次利用寶貴的 FIB 樣品,。