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簡(jiǎn)介：本設(shè)備為連續(xù)式CVD爐，可用于硅/氧化亞硅負(fù)極材料的氣相沉積碳包覆,；使用氮?dú)?、乙炔,、甲烷等混合氣,；適用于松散、無強(qiáng)酸強(qiáng)堿等腐蝕性成份的粉體材料,；

爐內(nèi)恒溫時(shí)間需要1-4小時(shí)（加熱區(qū),，可根據(jù)客戶工藝需求而定）,；產(chǎn)品管內(nèi)**填充率約為5%—20%（根據(jù)客戶材料特征與包覆工藝確定）；

特色與優(yōu)勢(shì)：

爐管整體310s板材焊接,，所有焊縫做無損探傷,，爐管整體做固溶。爐頭采用填料潤(rùn)滑端面密封,，彈性密封+氣環(huán)密封+潤(rùn)滑脂環(huán)密封,。以上密封方式既能保證動(dòng)靜結(jié)合的良好密封性，又能在高溫下長(zhǎng)期使用,。密封結(jié)構(gòu)部位獨(dú)立循環(huán)水冷卻,，降低密封部位潤(rùn)滑脂蒸發(fā)。

進(jìn)氣管路設(shè)計(jì)在爐體出料端,，氣體流向?yàn)槟嫦蛭锪闲羞M(jìn)方向而設(shè)計(jì),。進(jìn)氣管路為氮?dú)夂吞荚礆怏w混合進(jìn)氣口、氮?dú)膺M(jìn)氣口,。進(jìn)氣流速通過質(zhì)量流量計(jì)控制。精確控制混合氣比例,。進(jìn)氣管路出氣口延伸至爐管高溫區(qū),。進(jìn)氣管材質(zhì)為310s。進(jìn)氣管可不停爐獨(dú)立拆卸,，便于清理內(nèi)部沉積物,。

排氣管路設(shè)計(jì)在爐體進(jìn)料端，與進(jìn)料螺旋平行,，氣體流向?yàn)槟嫦蛭锪闲羞M(jìn)方向設(shè)計(jì),。*終排至爐外。排氣管內(nèi)設(shè)計(jì)獨(dú)立清理,，避免粉體的沉積造成煙道堵塞導(dǎo)致排氣不暢,。導(dǎo)致爐內(nèi)壓力不可控，排氣管路底部設(shè)有粉塵收集倉,。