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杭州嘉悅智能設備有限公司
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產(chǎn)品介紹
YRTP快速退火爐是一款多功能的真空氣氛燒結爐,，既可以用于材料的快速升降溫退火,，也可用于化學氣相沉積（CVD）法,，在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備,，稍加調整，一機多用,，被廣泛的應用各研究院所,。
加熱系統(tǒng)采用環(huán)形紅外短波加熱器，*快升溫速率可達300℃/S,，測溫采用精準的S型貴金屬熱電偶直接測量式樣表面,，使加熱工件（式樣)的溫區(qū)更加均勻準確，控制界面采用大尺寸觸摸屏,，傻瓜智能式操作,，可預設置十條溫度曲線?？刂茢?shù)學模型采用先進的PID自學習模糊雙閉環(huán)控制模式,，使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態(tài)仍能保持在±3℃，經(jīng)過長期多次的各種試樣試驗驗證,，已被應用于半導體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領域,，廣泛滿足離子注入后的快速退火，歐姆接觸快速合金,，硅化物合金退火,，氧化物生長，銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積及其它快速熱處理工藝的要求,。
技術參數(shù)
產(chǎn)品型號 | YRTP-1100 |
爐體結構 | 雙層殼體結構,，高精度移動平臺 |
額定溫度（℃） | 1100 |
使用溫度（℃） | ≤1000 |
溫場均勻性（℃） | ±3℃ |
溫度狀態(tài)工藝時間（S) | 2~100（100~1000℃） |
*快升溫速（℃/S） | 200 |
降溫速率（℃/S） | 1~200（通氮氣，速率更快） |
溫度控制模式 | 智能模糊全閉環(huán)PID控制 |
操作方式 | 觸摸屏控制 |
超高溫狀態(tài)檢測 | 軟件檢測出溫度信息出現(xiàn)高溫異常時,，切斷主回路 |
觸摸屏尺寸 | 7"LED |
**功率（kW） | 15 |
額定電壓 | AC380~400V,，50HZ（60Hz定制） |
傳感器類型 | S型單鉑銠 |
反應腔室內徑尺寸 | Φ100X200 |
式樣有效空間 | 4" |
真空系統(tǒng) | 選配 |
預留真空抽口 | KF16 |
進出氣接口 | Φ6卡套 |
尺寸重量 | 長1000×深600×高600mm；凈重：約50kg |
可根據(jù)客戶要求定制,！
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企業(yè)名稱
杭州嘉悅智能設備有限公司企業(yè)類型
其他有限責任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊地址
浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊資本
1,939.1萬(元)有效期限
2020-05-12 至 無固定期限
經(jīng)營范圍
一般項目：通用設備制造（不含特種設備制造）；烘爐,、熔爐及電爐制造,；冶金專用設備制造；玻璃,、陶瓷和搪瓷制品生產(chǎn)專用設備制造,；半導體器件專用設備制造；烘爐,、熔爐及電爐銷售,；泵及真空設備銷售；電子產(chǎn)品銷售,；儀器儀表銷售,；機械設備研發(fā)；冶金專用設備銷售,；半導體器件專用設備銷售,；機械電氣設備銷售；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售,；技術服務,、技術開發(fā)、技術咨詢,、技術交流,、技術轉讓、技術推廣,；新材料技術研發(fā),；新型陶瓷材料銷售；石墨烯材料銷售,；石墨及碳素制品銷售,；非金屬礦及制品銷售；功能玻璃和新型光學材料銷售,；貨物進出口,；技術進出口（除依法須經(jīng)批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）,。
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