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杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司
上海煜志科技有限公司

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1200低真空CVD系統(tǒng)

1200低真空CVD系統(tǒng)
  • 品牌:上海煜志
  • 產(chǎn)地:上海
  • 關(guān)注度:2942
  • 型號:YHGS-120612I-3ZD
  • 報價:20-30萬元
  • 信息完整度:
核心參數(shù)
    產(chǎn)品介紹

    簡介

    1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由滑動式管式實驗電爐,,混氣系統(tǒng),,真空及壓力系統(tǒng)等組成,。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃,,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫,;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度,;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體,。是為石墨烯生長,、研發(fā)的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗,。

    主要技術(shù)參數(shù)

    爐體結(jié)構(gòu)

    整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),,流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu),;

    日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,,保溫性能好;

    爐子底部裝有一對滑軌,,移動平穩(wěn),;

    爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻,;

    支撐兩端安裝油壓緩沖器,;

    爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

    尺寸重量

    1240*600*1340mm,;170kg

    電源

    電壓:AC220V 50/60Hz,;功率:4KW

    爐管

    高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強,,耐腐蝕,,熱膨脹系數(shù)極小,;

    尺寸:Φ60/80/100*1200mm

    法蘭及支撐

    SUS304不銹鋼快速法蘭,,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空;

    一個卡箍就能完成法蘭的連接,放,、取物料方便快捷,;

    可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐,;

    包含進氣,、出氣、真空抽口針閥,,KF密封圈及卡箍組合,。

     

    加熱系統(tǒng)

    加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲,表面負荷高,、經(jīng)久耐用,; 加熱區(qū)長度:300mm;恒溫區(qū)長度:150mm,; 工作溫度:≤1150℃,; **溫度:1200℃;

    升溫速率:推薦≤10℃/min,,*快升溫速度30℃/min

    溫控系統(tǒng)

    日本富士儀表,,64段控溫程序,可分步,、分段,; 測溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃

    混氣系統(tǒng)

    三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示,、氣體流量自動控制

    內(nèi)置不銹鋼混氣箱,,每路氣體管路均配有逆止閥

    管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

    每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

    通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

    流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

    真空系統(tǒng)

    采用雙極旋片真空泵,,真空度可達10Pa

    可選配件

    高真空系統(tǒng),,各種剛玉、石英坩堝,,石英管,,計算機控制軟件

    保修期

    整機一年保修(相關(guān)耗材除外)

    可根據(jù)客戶要求定制!

    特色與優(yōu)勢


    1.滑動式爐體結(jié)構(gòu)實現(xiàn)快速升降溫,;

    2.開啟式爐蓋設(shè)置,,降低沉積溫度、加快沉積速度,;

    3.日本富士溫控儀表,,64段控溫程序,可分布,,分段,,三路質(zhì)量流量計,,數(shù)字顯示精確控制氣體流量,;

    4.雙極旋片真空泵+分子泵,,實現(xiàn)對真空度的不同要求,極限真空可達4.0*10-4Pa,。

    問商家

    • 1200低真空CVD系統(tǒng)的工作原理介紹,?
    • 1200低真空CVD系統(tǒng)的使用方法?
    • 1200低真空CVD系統(tǒng)多少錢一臺,?
    • 1200低真空CVD系統(tǒng)使用的注意事項
    • 1200低真空CVD系統(tǒng)的說明書有嗎,?
    • 1200低真空CVD系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎?
    • 1200低真空CVD系統(tǒng)的報價含票含運費嗎,?
    • 1200低真空CVD系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎,?
    • 1200低真空CVD系統(tǒng)包安裝嗎?

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    工商信息

    企業(yè)名稱

    杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司

    企業(yè)類型

    其他有限責(zé)任公司

    信用代碼

    91310114MA1GTDEL81

    法人代表

    張鵬

    注冊地址

    浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢202室

    成立日期

    2020-05-12

    注冊資本

    1,939.1萬(元)

    有效期限

    2020-05-12 至 無固定期限

    經(jīng)營范圍

    一般項目:通用設(shè)備制造(不含特種設(shè)備制造),;烘爐,、熔爐及電爐制造;冶金專用設(shè)備制造,;玻璃,、陶瓷和搪瓷制品生產(chǎn)專用設(shè)備制造;半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造,;烘爐,、熔爐及電爐銷售;泵及真空設(shè)備銷售,;電子產(chǎn)品銷售,;儀器儀表銷售;機械設(shè)備研發(fā),;冶金專用設(shè)備銷售,;半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售;機械電氣設(shè)備銷售,;工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售,;技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā),、技術(shù)咨詢,、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓,、技術(shù)推廣,;新材料技術(shù)研發(fā);新型陶瓷材料銷售,;石墨烯材料銷售,;石墨及碳素制品銷售,;非金屬礦及制品銷售;功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售,;貨物進出口,;技術(shù)進出口(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動),。
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