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杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司
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已認(rèn)證
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簡介
1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由滑動式管式實驗電爐,,混氣系統(tǒng),,真空及壓力系統(tǒng)等組成,。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃,,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫,;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度,;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體,。是為石墨烯生長,、研發(fā)的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗,。
主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),,流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu),; 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,,保溫性能好; 爐子底部裝有一對滑軌,,移動平穩(wěn),; 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻,; 支撐兩端安裝油壓緩沖器,; 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1240*600*1340mm,;170kg |
電源 | 電壓:AC220V 50/60Hz,;功率:4KW |
爐管 | 高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強,,耐腐蝕,,熱膨脹系數(shù)極小,; 尺寸:Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空; 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放,、取物料方便快捷,; 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐,; 包含進氣,、出氣、真空抽口針閥,,KF密封圈及卡箍組合,。 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲,表面負荷高,、經(jīng)久耐用,; 加熱區(qū)長度:300mm;恒溫區(qū)長度:150mm,; 工作溫度:≤1150℃,; **溫度:1200℃; 升溫速率:推薦≤10℃/min,,*快升溫速度30℃/min |
溫控系統(tǒng) | 日本富士儀表,,64段控溫程序,可分步,、分段,; 測溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示,、氣體流量自動控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,,每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5% |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵,,真空度可達10Pa |
可選配件 | 高真空系統(tǒng),,各種剛玉、石英坩堝,,石英管,,計算機控制軟件 |
保修期 | 整機一年保修(相關(guān)耗材除外) |
可根據(jù)客戶要求定制!
特色與優(yōu)勢
1.滑動式爐體結(jié)構(gòu)實現(xiàn)快速升降溫,;
2.開啟式爐蓋設(shè)置,,降低沉積溫度、加快沉積速度,;
3.日本富士溫控儀表,,64段控溫程序,可分布,,分段,,三路質(zhì)量流量計,,數(shù)字顯示精確控制氣體流量,;
4.雙極旋片真空泵+分子泵,,實現(xiàn)對真空度的不同要求,極限真空可達4.0*10-4Pa,。
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企業(yè)名稱
杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司企業(yè)類型
其他有限責(zé)任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊地址
浙江省杭州市富陽區(qū)春江街道江南路68號第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊資本
1,939.1萬(元)有效期限
2020-05-12 至 無固定期限經(jīng)營范圍
一般項目:通用設(shè)備制造(不含特種設(shè)備制造),;烘爐,、熔爐及電爐制造;冶金專用設(shè)備制造,;玻璃,、陶瓷和搪瓷制品生產(chǎn)專用設(shè)備制造;半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造,;烘爐,、熔爐及電爐銷售;泵及真空設(shè)備銷售,;電子產(chǎn)品銷售,;儀器儀表銷售;機械設(shè)備研發(fā),;冶金專用設(shè)備銷售,;半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售;機械電氣設(shè)備銷售,;工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售,;技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā),、技術(shù)咨詢,、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓,、技術(shù)推廣,;新材料技術(shù)研發(fā);新型陶瓷材料銷售,;石墨烯材料銷售,;石墨及碳素制品銷售,;非金屬礦及制品銷售;功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售,;貨物進出口,;技術(shù)進出口(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動),。
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