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杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司
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簡(jiǎn)介
PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動(dòng)的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子,，就會(huì)使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng)；借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,，在局部形成等離子體,，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng),，在基片上沉積出所期望的薄膜,；具有基本溫度低、沉積速率快,、成膜質(zhì)量好,、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn),；
1200℃高真空PECVD系統(tǒng)通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫,，配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度；同時(shí)通過(guò)多路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體,。 主要應(yīng)用于高校,、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,，生長(zhǎng)薄膜石墨烯,，金屬薄膜，陶瓷薄膜,，復(fù)合薄膜等,，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)體系,，使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。
主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線型外觀,，斷熱式結(jié)構(gòu),； 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好,； 爐子底部裝有一對(duì)滑軌,，移動(dòng)平穩(wěn)； 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻,； 爐蓋可開(kāi)啟,，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1730*660*1130mm；凈重：210kg |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz,；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管,，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕,，熱膨脹系數(shù)極?。?nbsp; 尺寸：Φ60*1300mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,，通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空,； 一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,，放,、取物料方便快捷； 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,，平衡爐管的受力支撐,； 包含進(jìn)氣、出氣,、真空抽口針閥,，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用康泰爾發(fā)熱絲，表面負(fù)荷高,、經(jīng)久耐用,； 加熱區(qū)長(zhǎng)度：300mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：150mm； 工作溫度：≤1150℃,； **溫度：1200℃,； 升溫速率：10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 日本富士溫控儀表，64段控溫程序,，可分步,、分段 |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制,；內(nèi)置不銹鋼混氣箱,，每路氣體管路均配有逆止閥；管路采用不銹鋼管,，接口為Φ6卡套,；每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥；通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格：0~1000sccm（可選）,； 流量精度：±1.5% |
高真空系統(tǒng) | 采用雙級(jí)旋片真空泵+分子泵,，極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa； 復(fù)合真空計(jì)，配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速：110L/S,； 冷卻：風(fēng)冷,； 電源:AC220V 50/60Hz |
射頻電源系統(tǒng) | 輸出功率:0-300W；功率穩(wěn)定度：±0.1%,；射頻電源頻率:13.56MHz 穩(wěn)定性±0.005%,；**反向功率:120W；射頻電源電子輸出端口:UHF,； 冷卻:風(fēng)冷,； 電源:AC187-253V 50/60Hz |
可選配件 | 各種剛玉、石英坩堝,，石英管,，計(jì)算機(jī)控制軟件 |
保修卡 | 整機(jī)一年保修（相關(guān)耗材除外） |
可根據(jù)客戶(hù)要求定制！
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企業(yè)名稱(chēng)
杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司企業(yè)類(lèi)型
其他有限責(zé)任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊(cè)地址
浙江省杭州市富陽(yáng)區(qū)春江街道江南路68號(hào)第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊(cè)資本
1,939.1萬(wàn)(元)有效期限
2020-05-12 至 無(wú)固定期限
經(jīng)營(yíng)范圍
一般項(xiàng)目：通用設(shè)備制造（不含特種設(shè)備制造）；烘爐,、熔爐及電爐制造,；冶金專(zhuān)用設(shè)備制造；玻璃,、陶瓷和搪瓷制品生產(chǎn)專(zhuān)用設(shè)備制造,；半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備制造；烘爐,、熔爐及電爐銷(xiāo)售,；泵及真空設(shè)備銷(xiāo)售；電子產(chǎn)品銷(xiāo)售,；儀器儀表銷(xiāo)售,；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；冶金專(zhuān)用設(shè)備銷(xiāo)售,；半導(dǎo)體器件專(zhuān)用設(shè)備銷(xiāo)售,；機(jī)械電氣設(shè)備銷(xiāo)售；工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置銷(xiāo)售,；技術(shù)服務(wù),、技術(shù)開(kāi)發(fā),、技術(shù)咨詢(xún)、技術(shù)交流,、技術(shù)轉(zhuǎn)讓,、技術(shù)推廣；新材料技術(shù)研發(fā),；新型陶瓷材料銷(xiāo)售,；石墨烯材料銷(xiāo)售；石墨及碳素制品銷(xiāo)售,；非金屬礦及制品銷(xiāo)售,；功能玻璃和新型光學(xué)材料銷(xiāo)售；貨物進(jìn)出口,；技術(shù)進(jìn)出口（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外,，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）。
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