推薦一打聽嚇一跳,，生產(chǎn)一枚芯片竟需要拋光30多次,？

中國粉體網(wǎng)訊化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)是半導(dǎo)體晶片表面加工的關(guān)鍵技術(shù)之一,。該技術(shù)綜合了拋光液的化學(xué)腐蝕作用和磨粒及拋光墊的機(jī)械去除作用,，以實(shí)現(xiàn)拋光后工件表面的良好質(zhì)量、無損傷和高面形精度,。徐嘉慧等,，硅片化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的研究進(jìn)展從20[更多]