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芯片拋光

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中國粉體網(wǎng)訊化學(xué)機械拋光技術(shù)是半導(dǎo)體晶片表面加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。該技術(shù)綜合了拋光液的化學(xué)腐蝕作用和磨粒及拋光墊的機械去除作用,,以實現(xiàn)拋光后工件表面的良好質(zhì)量,、無損傷和高面形精度,。徐嘉慧等,硅片化學(xué)機械拋光技術(shù)的研究進展從20[更多]

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