中國(guó)粉體網(wǎng)訊陶瓷零部件在半導(dǎo)體制程中廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備的升級(jí)迭代,,很大程度上有賴于精密零部件的關(guān)鍵技術(shù)突破,。先進(jìn)陶瓷具有高硬度、高彈性模量,、高耐磨、高絕緣,、耐腐蝕,、低膨脹等優(yōu)點(diǎn),可用作多種半導(dǎo)體設(shè)備的零部件,,在半導(dǎo)體設(shè)備零部[更多]
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