非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
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設備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路數 | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 6-12寸 |
4 | 適用工藝 | 擴散（磷擴,、硼擴）、氧化,、退火,、合金、鋁預沉積 |
5 | 溫度校準功能 | 具有自動校準溫區(qū)功能,，具有預先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結構 | 一體工控機+PLC |
8 | 報警保護: | 具有超溫報警,，斷偶報警，氣體互鎖,，氣體緩啟動等功能 |
設備主要特點和優(yōu)勢
1★具有強大的操作功能,，windows界面，顯示屏操作,，用戶可以方便地修改工藝控制參數,，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài),；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間,；
2★采用可靠性工控機+PLC模式,，對爐溫、進退舟,、氣體流量,、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,，在停電或中途停機后,，再次啟動可以根據工藝手動升溫，節(jié)省工藝時間,；
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