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臥式擴(kuò)散爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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-非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
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一,、設(shè)備概述：
臥式擴(kuò)散爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件,、 POWER,、 MEMS等多種領(lǐng)域，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化,、擴(kuò)散,、GPP、退火,、合金等工藝,。
擴(kuò)散工藝是在高溫條件下，利用熱擴(kuò)散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中,，使其具有特定的濃度分布,，達(dá)到改變材料的電學(xué)特性，形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的,?？捎糜谥谱鱌N結(jié)或構(gòu)成集成電路中的電阻、電容,、二極管和晶體管等器件,。
二、設(shè)備參數(shù)類(lèi)型：
設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 根據(jù)客戶(hù)操作可定左/右手操作 |
2 | 管路數(shù) | 1-5管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-8寸 |
4 | 適用工藝 | 擴(kuò)散（磷擴(kuò),、硼擴(kuò)）,、氧化（干氧、合成）,、玻璃鈍化（GPP）,、退火、合金,、鋁預(yù)沉積 |
5 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有自動(dòng)校準(zhǔn)溫區(qū)功能,，具有預(yù)先寫(xiě)入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級(jí)控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機(jī)+PLC |
8 | 報(bào)警保護(hù): | 具有超溫報(bào)警，斷偶報(bào)警,，氣體互鎖,，氣體緩啟動(dòng)等功能 |
三、設(shè)備主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
1★具有強(qiáng)大的操作功能,，windows界面,，顯示屏操作，用戶(hù)可以方便地修改工藝控制參數(shù),，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài),；配有故障自診斷軟件,，可大大節(jié)省維修時(shí)間；
2★采用可靠性工控機(jī)+PLC模式,，對(duì)爐溫,、進(jìn)退舟、氣體流量,、閥門(mén)進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過(guò)程自動(dòng)化,；
3★程序可以實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)工作，在停電或中途停機(jī)后,，再次啟動(dòng)可以根據(jù)工藝手動(dòng)升溫，節(jié)省工藝時(shí)間,；
4★具有多種工藝管路,，可供用戶(hù)方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測(cè)環(huán)境溫度進(jìn)行溫度補(bǔ)償,，避免環(huán)境溫度變化,，對(duì)爐膛溫度產(chǎn)生影響，避免層間干擾,；
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制,，避免馬達(dá)丟步，運(yùn)行顫抖現(xiàn)象,。推拉舟運(yùn)行完一個(gè)周期,，自動(dòng)校準(zhǔn)位置，有效防止定位偏差,；
7★氣體流量控制精確,，采用模擬信號(hào)閉環(huán)控制，強(qiáng)弱電分開(kāi),，各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線(xiàn),，提高抗干擾能力，保證數(shù)據(jù)安全,；氣體打開(kāi)具有緩啟動(dòng)功能,；
8★具有多種報(bào)警功能及安全保護(hù)功能；
9★恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整,，串級(jí)控制,，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度；
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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