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臥式擴散爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
暫無金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
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-額定溫度：
-非金屬電熱元件：
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一,、設(shè)備概述：
臥式擴散爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件,、 POWER,、 MEMS等多種領(lǐng)域,，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化,、擴散、GPP,、退火,、合金等工藝。
擴散工藝是在高溫條件下,，利用熱擴散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中,，使其具有特定的濃度分布，達(dá)到改變材料的電學(xué)特性,，形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的,。可用于制作PN結(jié)或構(gòu)成集成電路中的電阻,、電容,、二極管和晶體管等器件。
二,、設(shè)備參數(shù)類型：
設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 根據(jù)客戶操作可定左/右手操作 |
2 | 管路數(shù) | 1-5管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-8寸 |
4 | 適用工藝 | 擴散（磷擴,、硼擴）,、氧化（干氧、合成）,、玻璃鈍化（GPP）,、退火、合金,、鋁預(yù)沉積 |
5 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有自動校準(zhǔn)溫區(qū)功能,，具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機+PLC |
8 | 報警保護(hù): | 具有超溫報警，斷偶報警,，氣體互鎖,，氣體緩啟動等功能 |
三、設(shè)備主要特點和優(yōu)勢
1★具有強大的操作功能,，windows界面,，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài),；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間,；
2★采用可靠性工控機+PLC模式,，對爐溫、進(jìn)退舟,、氣體流量,、閥門進(jìn)行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,，在停電或中途停機后,，再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫，節(jié)省工藝時間,；
4★具有多種工藝管路,，可供用戶方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進(jìn)行溫度補償,，避免環(huán)境溫度變化,，對爐膛溫度產(chǎn)生影響，避免層間干擾,；
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制,，避免馬達(dá)丟步，運行顫抖現(xiàn)象,。推拉舟運行完一個周期,，自動校準(zhǔn)位置，有效防止定位偏差,；
7★氣體流量控制精確,，采用模擬信號閉環(huán)控制,，強弱電分開，各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線,，提高抗干擾能力,，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開具有緩啟動功能,；
8★具有多種報警功能及安全保護(hù)功能,；
9★恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制,，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度,；
暫無數(shù)據(jù)！
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