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臥式擴散爐
臥式擴散爐

參考價格

面議

型號

臥式擴散爐

品牌

育豪微電子

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
青島育豪微電子設備有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
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一,、設備概述:

臥式擴散爐設備可應用于集成電路、分立器件,、 POWER,、 MEMS等多種領域,,適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化,、擴散,、GPP、退火,、合金等工藝,。

擴散工藝是在高溫條件下,利用熱擴散原理將雜質元素按要求的深度摻入硅襯底中,,使其具有特定的濃度分布,,達到改變材料的電學特性,形成半導體器件結構的目的,??捎糜谥谱鱌N結或構成集成電路中的電阻、電容,、二極管和晶體管等器件,。


二、設備參數(shù)類型:

設備性能指標

1

操作方式

根據(jù)客戶操作可定左/右手操作

2

管路數(shù)

1-5管

3

加工晶圓尺寸

4-8寸

4

適用工藝

擴散(磷擴,、硼擴),、氧化(干氧、合成),、玻璃鈍化(GPP),、退火、合金,、鋁預沉積

5

溫度校準功能

具有自動校準溫區(qū)功能,,具有預先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能

6

控溫模式

Spike控溫+Profile串級控溫

7

控制系統(tǒng)結構

一體工控機+PLC

8

報警保護:

具有超溫報警,斷偶報警,,氣體互鎖,,氣體緩啟動等功能


三、設備主要特點和優(yōu)勢

1★具有強大的操作功能,,windows界面,,顯示屏操作,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),,并可隨時顯示各種工藝狀態(tài),;配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間,;

2★采用可靠性工控機+PLC模式,,對爐溫、進退舟,、氣體流量,、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化;

3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,在停電或中途停機后,,再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫,,節(jié)省工藝時間;

4★具有多種工藝管路,,可供用戶方便選擇,;

5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進行溫度補償,避免環(huán)境溫度變化,,對爐膛溫度產(chǎn)生影響,,避免層間干擾;

6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制,,避免馬達丟步,,運行顫抖現(xiàn)象。推拉舟運行完一個周期,,自動校準位置,,有效防止定位偏差;

7★氣體流量控制精確,,采用模擬信號閉環(huán)控制,,強弱電分開,各種數(shù)據(jù)交互采用標準總線,,提高抗干擾能力,,保證數(shù)據(jù)安全;氣體打開具有緩啟動功能,;

8★具有多種報警功能及安全保護功能,;
9★恒溫區(qū)自動調整,串級控制,,可準確控制反應管的實際工藝溫度,;


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售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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