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其他金屬電熱元件：
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一,、設備概述：
臥式擴散爐設備可應用于集成電路、分立器件,、 POWER,、 MEMS等多種領域,，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化,、擴散,、GPP、退火,、合金等工藝,。
擴散工藝是在高溫條件下，利用熱擴散原理將雜質元素按要求的深度摻入硅襯底中,，使其具有特定的濃度分布,，達到改變材料的電學特性，形成半導體器件結構的目的,?？捎糜谥谱鱌N結或構成集成電路中的電阻、電容,、二極管和晶體管等器件,。
二、設備參數(shù)類型：
設備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 根據(jù)客戶操作可定左/右手操作 |
2 | 管路數(shù) | 1-5管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-8寸 |
4 | 適用工藝 | 擴散（磷擴,、硼擴）,、氧化（干氧、合成）,、玻璃鈍化（GPP）,、退火、合金,、鋁預沉積 |
5 | 溫度校準功能 | 具有自動校準溫區(qū)功能,，具有預先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結構 | 一體工控機+PLC |
8 | 報警保護: | 具有超溫報警，斷偶報警,，氣體互鎖,，氣體緩啟動等功能 |
三、設備主要特點和優(yōu)勢
1★具有強大的操作功能,，windows界面,，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài),；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間,；
2★采用可靠性工控機+PLC模式,，對爐溫、進退舟,、氣體流量,、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作，在停電或中途停機后,，再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫,，節(jié)省工藝時間；
4★具有多種工藝管路,，可供用戶方便選擇,；
5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進行溫度補償，避免環(huán)境溫度變化,，對爐膛溫度產(chǎn)生影響,，避免層間干擾；
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制,，避免馬達丟步,，運行顫抖現(xiàn)象。推拉舟運行完一個周期,，自動校準位置,，有效防止定位偏差；
7★氣體流量控制精確,，采用模擬信號閉環(huán)控制,，強弱電分開，各種數(shù)據(jù)交互采用標準總線,，提高抗干擾能力,，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開具有緩啟動功能,；
8★具有多種報警功能及安全保護功能,；
9★恒溫區(qū)自動調整，串級控制,，可準確控制反應管的實際工藝溫度,；
暫無數(shù)據(jù)！
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