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臥式擴散爐
臥式擴散爐

參考價格

面議

型號

臥式擴散爐

品牌

育豪微電子

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
青島育豪微電子設(shè)備有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
  • 非金屬電熱元件:

    其他
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一,、設(shè)備概述:

臥式擴散爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件,、 POWER,、 MEMS等多種領(lǐng)域,,適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化,、擴散、GPP,、退火,、合金等工藝。

擴散工藝是在高溫條件下,,利用熱擴散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中,,使其具有特定的濃度分布,達(dá)到改變材料的電學(xué)特性,,形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的,。可用于制作PN結(jié)或構(gòu)成集成電路中的電阻,、電容,、二極管和晶體管等器件。


二,、設(shè)備參數(shù)類型:

設(shè)備性能指標(biāo)

1

操作方式

根據(jù)客戶操作可定左/右手操作

2

管路數(shù)

1-5管

3

加工晶圓尺寸

4-8寸

4

適用工藝

擴散(磷擴,、硼擴),、氧化(干氧、合成),、玻璃鈍化(GPP),、退火、合金,、鋁預(yù)沉積

5

溫度校準(zhǔn)功能

具有自動校準(zhǔn)溫區(qū)功能,,具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能

6

控溫模式

Spike控溫+Profile串級控溫

7

控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

一體工控機+PLC

8

報警保護(hù):

具有超溫報警,斷偶報警,,氣體互鎖,,氣體緩啟動等功能


三、設(shè)備主要特點和優(yōu)勢

1★具有強大的操作功能,,windows界面,,顯示屏操作,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),,并可隨時顯示各種工藝狀態(tài),;配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間,;

2★采用可靠性工控機+PLC模式,,對爐溫、進(jìn)退舟,、氣體流量,、閥門進(jìn)行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化;

3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,,在停電或中途停機后,,再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫,節(jié)省工藝時間,;

4★具有多種工藝管路,,可供用戶方便選擇;

5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進(jìn)行溫度補償,,避免環(huán)境溫度變化,,對爐膛溫度產(chǎn)生影響,避免層間干擾,;

6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制,,避免馬達(dá)丟步,運行顫抖現(xiàn)象,。推拉舟運行完一個周期,,自動校準(zhǔn)位置,有效防止定位偏差,;

7★氣體流量控制精確,,采用模擬信號閉環(huán)控制,,強弱電分開,各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線,,提高抗干擾能力,,保證數(shù)據(jù)安全;氣體打開具有緩啟動功能,;

8★具有多種報警功能及安全保護(hù)功能,;
9★恒溫區(qū)自動調(diào)整,串級控制,,可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度,;


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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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