參考價格
面議型號
臥式擴散爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
暫無金屬電熱元件:
其他燒結(jié)氣氛:
其他溫控精度:
-最高溫度:
-額定溫度:
-非金屬電熱元件:
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一,、設(shè)備概述:
臥式擴散爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件,、 POWER,、 MEMS等多種領(lǐng)域,,適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化,、擴散、GPP,、退火,、合金等工藝。
擴散工藝是在高溫條件下,,利用熱擴散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中,,使其具有特定的濃度分布,達(dá)到改變材料的電學(xué)特性,,形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的,。可用于制作PN結(jié)或構(gòu)成集成電路中的電阻,、電容,、二極管和晶體管等器件。
二,、設(shè)備參數(shù)類型:
設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 根據(jù)客戶操作可定左/右手操作 |
2 | 管路數(shù) | 1-5管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-8寸 |
4 | 適用工藝 | 擴散(磷擴,、硼擴),、氧化(干氧、合成),、玻璃鈍化(GPP),、退火、合金,、鋁預(yù)沉積 |
5 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有自動校準(zhǔn)溫區(qū)功能,,具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機+PLC |
8 | 報警保護(hù): | 具有超溫報警,斷偶報警,,氣體互鎖,,氣體緩啟動等功能 |
三、設(shè)備主要特點和優(yōu)勢
1★具有強大的操作功能,,windows界面,,顯示屏操作,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),,并可隨時顯示各種工藝狀態(tài),;配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間,;
2★采用可靠性工控機+PLC模式,,對爐溫、進(jìn)退舟,、氣體流量,、閥門進(jìn)行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化;
3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,,在停電或中途停機后,,再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫,節(jié)省工藝時間,;
4★具有多種工藝管路,,可供用戶方便選擇;
5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進(jìn)行溫度補償,,避免環(huán)境溫度變化,,對爐膛溫度產(chǎn)生影響,避免層間干擾,;
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制,,避免馬達(dá)丟步,運行顫抖現(xiàn)象,。推拉舟運行完一個周期,,自動校準(zhǔn)位置,有效防止定位偏差,;
7★氣體流量控制精確,,采用模擬信號閉環(huán)控制,,強弱電分開,各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線,,提高抗干擾能力,,保證數(shù)據(jù)安全;氣體打開具有緩啟動功能,;
8★具有多種報警功能及安全保護(hù)功能,;
9★恒溫區(qū)自動調(diào)整,串級控制,,可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度,;
暫無數(shù)據(jù)!