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臥式退火爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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一、設(shè)備概述：
臥式退火爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路,、分立器件,、 POWER、 MEMS等多種領(lǐng)域,，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化,、擴(kuò)散、GPP,、退火,、合金等工藝。
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