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其他金屬電熱元件：
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一,、設備概述：
臥式退火爐設備可應用于集成電路,、分立器件、 POWER,、 MEMS等多種領域,，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化、擴散,、GPP,、退火、合金等工藝,。
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