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GIGAbatch 310M等離子系統(tǒng) 是 GIGAbatch 產(chǎn)品系列中的入門級型號。作為*小的系統(tǒng),，GIGAbatch 310M具有較高的性價(jià)比，憑借先進(jìn)的等離子技術(shù)以及經(jīng)濟(jì)實(shí)惠等優(yōu)點(diǎn),，它是實(shí)驗(yàn)室和大學(xué)的理想之選,。然而，即使是基礎(chǔ)版本，它也可用于使用 MFC 氣體管道和 600 W 發(fā)生器,，執(zhí)行手動(dòng)和自動(dòng)等離子處理,。

基礎(chǔ)版本的桌面型；為第二個(gè)氣體管道提供空間

腔室*多可容納 25 片直徑為 150 毫米的晶圓,，可以使用石英舟批量處理,，或使用帶有特殊裝載裝置進(jìn)行單片處理

各種個(gè)性化配置的配件

具有特殊密封材料的配置，帶冷卻板和循環(huán)冷卻器的腔室可用于從晶圓上去除 SU-8,。