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等離子系統(tǒng) GIGA 690 是 PS400 和 PS660 的后續(xù)型號(hào)。作為低壓微波等離子系統(tǒng),，它專為應(yīng)用于清潔和芯片封裝中半導(dǎo)體元件的活化而打造,，其中包括在芯片貼裝、引線鍵合,、倒裝芯片底部填充和封裝等工藝之前,。為此目的，2.45 GHz 的微波通過窗口被引入真空室,，并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)等離子體,。該技術(shù)工藝可實(shí)現(xiàn)快速且無損傷的等離子處理。此外,，憑借其配有的等離子技術(shù),，可滿足各應(yīng)用的工藝要求。

該系統(tǒng)具有手動(dòng)和自動(dòng)兩種操作方式,；其人性化的軟件符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn),。手動(dòng)操作模式提供了更大的靈活性和控制能力，適用于研發(fā)階段或需要特定處理?xiàng)l件的情況,。自動(dòng)操作模式則更適合大規(guī)模生產(chǎn),，可以提高效率和一致性。無論是研發(fā)階段還是大規(guī)模生產(chǎn),，該系統(tǒng)都能滿足工藝要求,，并提供高效、一致且安全的操作體驗(yàn),。