日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

借助殘余應(yīng)力的狀態(tài)分布“指紋”，可以去分析部件或材料的組成及使用情況,。殘余應(yīng)力分析是必不可少的,，例如可以用來識(shí)別半導(dǎo)體襯底和組件結(jié)構(gòu)上的局部應(yīng)力狀態(tài)和缺陷，或根據(jù)應(yīng)力狀態(tài)和缺陷分布的信息優(yōu)化生產(chǎn)工藝,。得益于獨(dú)有的鐳射技術(shù),，PVA TePla的SIRD(去極化紅外線掃描)系統(tǒng)可以在無需接觸或者破壞被分析的材料或部件的情況下實(shí)現(xiàn)有效分析,。

智能軟件解決方案使得 SIRD 系統(tǒng)有效地將獲得的去極化圖轉(zhuǎn)換為可解釋的剪切應(yīng)力分布結(jié)果,。

該系統(tǒng)憑借出色的鐳射技術(shù)，搭配智能的軟件,，自推出市場,，備受用戶青睞并得到廣泛的應(yīng)用。

SIRD 應(yīng)力量測

SIRD（去極化紅外線掃描）系統(tǒng)是一種透射式暗場平面偏光鏡,。當(dāng)檢測時(shí),，固定位置的線性偏振光束穿透待檢查的晶圓,。如果晶體結(jié)構(gòu)**且無應(yīng)力，光束的偏振不會(huì)改變,。 但如果晶體中存在剪切應(yīng)力或缺陷,，光束則會(huì)因?yàn)閼?yīng)力引起的雙折射效應(yīng)造成去極化的現(xiàn)象。

功能概述：

• SIRD的工作方式類似于唱片機(jī)：晶圓在轉(zhuǎn)臺(tái)上旋轉(zhuǎn),，并在半徑方向間歇或是連續(xù)性(螺旋)地移動(dòng)

• 根據(jù)預(yù)先設(shè)定的測量參數(shù)記錄數(shù)據(jù),；*小或**半徑均可自由選擇

• 測量時(shí)間取決于選擇的橫向分辨率(≥50 μm) 以及掃描速度（**約1 cm2 s?1）

• 以圖的方式來呈現(xiàn)*重要量測結(jié)果(去極化及透視度)

SIRD的工作原理與ARD (Alternating Retarder Depolarization)原理一致。這允許區(qū)分不是由雙折射影起的去偏振分量,。因此,，即使是*小的應(yīng)力差異也是有可能量測的(>100 Pa)。

SIRD 應(yīng)用實(shí)例：

Czochralski 的硅中的漩渦缺陷

硅上氮化鎵層的滑動(dòng)線

硅外延制程后的近邊緣缺陷

由制程引起的局部缺陷（設(shè)備指紋）