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晶圓最終清洗設(shè)備品牌
北京科翰龍產(chǎn)地
北京樣本
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采用雙面無接觸的方式對晶圓進行清洗或蝕刻的專用設(shè)備,，適用于2"-6"晶圓、4″- 8″晶圓,、8″- 12″晶圓,。
工藝過程可編程，適應(yīng)不同工藝需求
可對正面及背面同時進行清洗或腐蝕
暫無數(shù)據(jù),！
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